[发明专利]在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法

权利要求书

1. 一种在带电粒子显微镜中执行样本的层析成像的方法，其包括以下步骤：

提供沿粒子光轴传播的带电粒子射束；

将所述样本设置在可关于所述射束倾斜的样本座上；

在成像步骤中，引导所述射束穿过所述样本，以便在图像探测器处形成和捕获所述样本的图像；

在一列样本倾斜中的每一个下重复该程序，以便获得对应的一组图像；

在重建步骤中，数学地处理来自所述组的图像，以便构造所述样本的合成图像，

其特征在于：

在所述成像步骤中，对于给定的样本倾斜，一系列构件图像在对应的一系列焦点设定值下被捕获；

在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的至少一个组成部分，所述一系列构件图像的多个组成部分在所述数学图像处理中使用。

2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述成像步骤期间，所述粒子光轴和所述样本的相对位置保持大致恒定。

3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述成像步骤期间，所述粒子光轴和所述样本的相对位置通过引起所述射束沿所述样本扫描而变化。

4. 根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，在所述成像步骤内，所述一系列构件图像的不同组成部分具有除焦点之外的至少一个成像参数的不同值。

5. 根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，所述一系列焦点设定值的基数对于所述列的样本倾斜的所有组成部分不是相同的。

6. 根据任一前述权利要求所述的方法，其特征在于，在所述重建步骤中，对于所述列的样本倾斜的每个组成部分，所有捕获的构件图像在所述数学图像处理中使用。

7. 一种带电粒子显微镜，其包括：

带电粒子源，其用于产生沿粒子光轴传播的带电粒子射束；

样本座，其用于保持样本和使所述样本定位；

带电粒子透镜系统，其用于引导所述射束穿过所述样本以便形成所述样本的图像；

图像探测器，其用于在成像步骤中捕获所述图像；

设备，其用于调整所述射束关于所述样本的焦点设定值；

计算机处理器，其用于在重建步骤中数学地处理输入图像，以便形成输出重建图像，

所述显微镜构造和布置成执行如权利要求1至6中任一项所述的方法。