[发明专利]一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法

权利要求书

1.一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法，其特征在于，包括以下步骤： 

搭建全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路，所述全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台； 

对所述全穆勒矩阵椭偏仪进行局部回归校准； 

将待测样品置于所述样品台上，利用所述全穆勒矩阵椭偏仪，得到所述待测样品的实验傅里叶系数； 

根据所述待测样品的实验傅里叶系数，得到所述待测样品的信息； 

其中，对所述全穆勒矩阵椭偏仪进行校准的方法包括以下步骤： 

对所述第一和第二相位补偿器的转速进行设定； 

对所述光谱仪测量光强数据的频率进行设定，使所述光谱仪每隔T/N时间测量一次光强数据，一共采集N组光强数据，其中，N≥25，T为测量周期； 

采集所述光谱仪测量到的光强数据； 

根据所述光谱仪数据采集模块采集到的光强数据，由所述N次光强数据形成的N个光强数据－实验傅里叶系数关系式，得到各实验傅里叶系数α′_2n，β′_2n； 

根据所述各实验傅里叶系数、已经校准好的第一相位补偿器的初始偏振角C_s1、第二相位补偿器的初始偏振角C_s2，得到各理论傅里叶系数α_2n，β_2n； 

以所述参考样品各向同性且均匀为依据，所述第一相位补偿器相位延迟量运算模块根据所述各理论傅里叶系数、已经校准好的起偏器的偏振角P_s、检偏器的偏振角A_s，得到第一相位补偿器的相位延迟量δ₁； 

以所述参考样品各向同性且均匀为依据，所述第二相位补偿器相位延迟量 运算模块根据所述各理论傅里叶系数、已经校准好的起偏器的偏振角P_s、检偏器的偏振角A_s，得到第二相位补偿器的相位延迟量δ₂； 

将已经校准得到的第一相位补偿器的初始偏振角C_s1、第二相位补偿器的初始偏振角C_s2、起偏器的偏振角P_s、检偏器的偏振角A_s、第一相位补偿器的相位延迟量δ₁和第二相位补偿器的相位延迟量δ₂作为准确值，通过所述理论傅里叶系数与工作参数之间的关系式，以（d，θ）为变量，运用最小二乘法拟合得到所述全穆勒矩阵椭偏仪剩余工作参数（d，θ）的准确值，其中，d为所述参考样品的厚度，θ为光入射到所述参考样品的角度。 

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤： 

根据所述各实验傅里叶系数α′_2n，β′_2n得到各θ_2n=tan^-1(β′_2n/α′_2n)； 

根据所述各θ_2n得到第一相位补偿器的初始偏振角C_s1； 

根据所述各θ_2n得到第二相位补偿器的初始偏振角C_s2； 

所述各θ_2n得到起偏器的偏振角P_s； 

根据所述各θ_2n得到检偏器的偏振角A_s。 

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述N=25，所述实验傅里叶计系数算模块根据所述N次光强数据形成的N个光强数据－实验傅里叶系数关系式，直接得到各实验傅里叶系数α′_2n，β′_2n。 

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述N＞25，所述实验傅里叶系数计算模块根据所述N次光强数据形成的N光强数据－实验傅里叶系数关系式，通过最小二乘法得到各实验傅里叶系数α′_2n，β′_2n。 

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光源为宽光谱光源，所述光源能够产生的光的波长的个数为N’，所述理论傅里叶系数与工作参数之间 的关系式的个数为24×N’。