[发明专利]用于沉积有机材料的设备

说明书

技术领域

各实施例涉及一种有机材料沉积设备。

背景技术

近来，有机发光二极管（OLED）显示器作为用于显示图像的显示设备已受到众多关注。

OLED显示器包括发出具有其自身颜色的光的有机发射层。

在该背景技术部分中公开的上述信息仅用于增强对所描述的技术的背景的理解，因此其可能包含不构成在该国家对于本领域普通技术人员来说已知的现有技术的信息。

发明内容

各实施例致力于一种用于沉积有机材料的沉积设备，该设备包括：具有一表面的支撑辊，所述表面被配置为将柔性基板接纳在所述表面上，所述支撑辊被配置为旋转；与所述支撑辊分隔的沉积源，所述沉积源被配置为将所述有机材料沉积于在所述支撑辊上的所述柔性基板上；和定位于所述支撑辊与所述沉积源之间的掩膜，所述掩膜包括被配置成允许所述有机材料从所述沉积源通向所述支撑辊的开口。

所述有机材料可形成在所述柔性基板上的有机发光二极管显示器的有机发射层。

多个沉积源可被提供，所述多个沉积源包括：第一沉积源，所述第一沉积源被定位成在所述支撑辊的第一侧面对所述支撑辊的所述表面；第二沉积源，所述第二沉积源被定位成在所述支撑辊的第二侧面对所述支撑辊的所述表面；和第三沉积源，所述第三沉积源被定位成在所述支撑辊的第三侧面对所述支撑辊的所述表面；并且多个掩膜可被提供，所述多个掩膜包括：定位于所述第一沉积源与所述支撑辊的所述表面之间的第一掩膜；定位于所述第二沉积源与所述支撑辊的所述表面之间的第二掩膜；和定位于所述第三沉积源与所述支撑辊的所述表面之间的第三掩膜。

所述第一沉积源、所述第二沉积源和所述第三沉积源可被配置成沉积各自的有机材料，以便形成发出具有不同颜色的光的有机发光二极管显示器的有机发射层。

所述沉积源和所述掩膜均可成曲状。

所述支撑辊的所述表面可具有预定曲率，并且所述沉积源的表面和所述掩膜的表面均可具有所述预定曲率。

所述沉积源和所述掩膜均可基本是平坦的。

所述支撑辊可被配置成围绕一轴线旋转并由此在所述沉积源的前面移动所述柔性基板。

附图说明

通过参照附图详细描述示例实施例，各特征对于本领域技术人员将变得明显。

图1是根据第一示例实施例的有机材料沉积设备的视图。

图2是根据第二示例实施例的有机材料沉积设备的视图。

图3是根据第三示例实施例的有机材料沉积设备的视图。

具体实施方式

现在将在下文中参照附图更充分地描述各示例实施例。然而，各示例实施例可以不同的形式体现，并且不应被认为限于在此提出的各实施例。相反，这些实施例被提供为使得本公开将是完整和全面的，并将各示例实施例的范围充分地传达给本领域技术人员。

在附图中，各尺寸为了例示清楚可被夸大。将理解，当一个元件被称为在另一元件“上”时，其能够直接在该另一元件上，或者也可存在一个或多个中间元件。还将理解，当一个元件被称为在另一元件“下”时，其能够直接在下方，或者也可存在一个或多个中间元件。还将理解，当一个元件被称为在两个元件“之间”时，其能够是这两个元件之间的唯一元件，或者也可存在一个或多个中间元件。相似的附图标记始终指代相似的元件。

而且，对于各示例实施例，参照通过对相同的构成元件使用相同的附图标记的相关附图，对第一示例实施例中的构成元件给出详细描述，而只有与第一示例实施例相关的那些构成元件不同的构成元件可在其它示例实施例中进行描述。

另外，除非明确相反描述，词语“包括”及诸如“包含”或“含有”的变型将被理解成意味着包括规定的元件但并不排除任意其它元件。

接下来，参见图1，将描述根据第一示例实施例的有机材料沉积设备。

图1是根据第一示例实施例的有机材料沉积设备的视图。

在图1所示的示例实施例中，根据第一示例实施例的有机材料沉积设备1000将用于有机发射层的有机材料沉积到为沉积靶的柔性基板10上，并包括支撑辊100、沉积源200和掩膜300。