[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，所述阵列基板的集线区内包括多条用于在驱动芯片和阵列基板的显示区之间传输信号的信号传输线，每条信号传输线对应于一数据传输通道，其特征在于，所述阵列基板还包括：

至少一条与信号传输线对应设置的阻抗平衡线；

所述阻抗平衡线与所属信号传输线之间电连接，使得所述集线区内的不同数据传输通道的阻抗的差值符合第一预设条件。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预设条件为：

配置阻抗平衡线后，至少有一对数据传输通道的阻抗的差值小于配置阻抗平衡线前所述一对数据传输通道的阻抗的差值。

3.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预设条件为：

配置阻抗平衡线后所述集线区内阻抗值最大的数据传输通道与阻抗值最小的数据传输通道之间的阻抗差值，小于配置阻抗平衡线前所述集线区内阻抗值最大的数据传输通道与阻抗值最小的数据传输通道之间的阻抗差值。

4.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一预设条件为：

配置阻抗平衡线后所述集线区内的各数据传输通道间的阻抗最大差值在预设阈值范围内。

5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，阻抗平衡线与所属信号传输线，形成于不同图层中。

6.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阻抗平衡线形成于阵列基板的导电图层中，所述导电图层包括像素电极层、公共电极层、源漏金属层、栅极层中的至少一层。

7.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阻抗平衡线与所属信号传输线之间直接接触，或者所述阻抗平衡线与所属信号传输线之间通过过孔实现电连接。

8.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阻抗平衡线由至少一条导电线组成。

9.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，分属于不同信号传输线的阻抗平衡线导电面积不同和/或材质不同。

10.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，分属于不同信号传输线的阻抗平衡线设置为：自身阻抗越大的信号传输线对应的阻抗平衡线的长度越长；和/或，

自身阻抗越大的信号传输线对应的阻抗平衡线的横截面积越大；和/或，

自身阻抗越大的信号传输线对应的阻抗平衡线的材质的电阻率越小。

11.如权利要求1至10任一项所述的阵列基板，其特征在于，所述信号传输线形成于源漏金属层，所述阻抗平衡线形成于像素电极层和/或栅极层中。

12.一种阵列基板制作方法，所述阵列基板的集线区内包括多条用于在驱动芯片和阵列基板的显示区之间传输信号的信号传输线，每条信号传输线对应于一数据传输通道，其特征在于，所述方法包括：

在阵列基板集线区预设位置处形成信号传输线；

在至少一条信号传输线上形成阻抗平衡线，所述阻抗平衡线与所属信号传输线之间电连接，使得所述集线区内的不同数据传输通道的阻抗的差值符合第一预设条件。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述在至少一条信号传输线上形成阻抗平衡线的步骤包括：

在集线区预设位置处，形成信号传输线图案，以及位于信号传输线之上的图层；

通过刻蚀工艺中，刻蚀掉位于信号传输线之上的图层；

在所述信号传输线之上形成阻抗平衡线图案。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述在至少一条信号传输线上形成阻抗平衡线的步骤包括：

在集线区预设位置处，形成信号传输线图案，以及位于信号传输线之上的图层；

在所述信号传输线图案和/或位于信号传输线之上的图层的预设位置处形成过孔；

在所述信号传输线之上的图层之上，以及所述过孔位置处，形成阻抗平衡线图案。

15.一种显示装置，其特征在于，所述装置包括如权利要求1-11任一项所述的阵列基板。