[发明专利]包括SrO应力缓冲体的压电元件的制造方法

权利要求书

1.一种包括SrO应力缓冲体的压电元件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

首先，准备将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于以PZT作为主要成分的陶瓷粉体中的坯片用的浆料；然后，将坯片用的浆料涂布在载体薄膜上，形成坯片；

然后，制作将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于导电材料中的电极图案用的浆料，将电极图案用的浆料印刷在坯片上，将电极图案印刷在坯片上面中除去对应于非形变部分的一端侧部分的区域上；

然后，制作将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于含有SrO的陶瓷粉体中的SrO浆料；将SrO浆料印刷在坯片上面中没有印刷有电极图案的区域，形成SrO浆料层；

然后，将形成有电极图案和SrO浆料层的坯片层叠；形成坯层叠体；

然后，对坯层叠体加热的同时在层叠方向上对其压制加工，之后，将该坯层叠体切断；

然后，将切断的坯层叠体装载于装定器进行脱脂处理；然后，将脱脂后的坯层叠体放入耐火粘土炉内进行烧结，得到作为烧结体的层叠体；

然后，在层叠体的侧面上形成外部电极；

最后，对压电体进行极化处理，得到压电元件。

2.如权利要求项1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，压电体的材料为

Pb0.999[(Zn1/3Nb2/3)0.11Ti0.425Zr0.465]O₃+0.2wt％Fe₂O₃+0.2wt％Sb₂O₃。

3.如权利要求项1或2所述的压电元件的制造方法，其特征在于，所述压电体材料的粉体材料的平均粒径为大约0.6μm。

4.如权利要求项3所述的压电元件的制造方法，其特征在于，所述应力缓和体的粉体材料的粒径比压电材料的粉体的粒径大。

5.如权利要求项4所述的压电元件的制造方法，其特征在于，所述应力缓和体的粉体材料的粒径为大约1.2μm。

6.如权利要求项1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，第1电极以及第2电极的材料含有Ag和Pd。

7.如权利要求项1或6所述的压电元件的制造方法，其特征在于，第1电极以及第2电极的材料含有比例为85∶15的Ag和Pd。

8.如权利要求项1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，通过丝网印刷将SrO浆料印刷在坯片上面。