[发明专利]阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置及方法

权利要求书

1.一种阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，包括测试台、探针、探针固定装置及物镜，所述测试台用于放置测试样品，所述探针固定在所述探针固定装置上，用于与测试样品的电极接触，进行电子束诱导感生电流信号的采集，所述物镜用于聚焦电子束，其特征在于，所述装置还包括阴极荧光探头，所述阴极荧光探头设置于探针与物镜之间，用于进行阴极荧光信号的采集，所述测试样品位于阴极荧光探头的焦点。

2.根据权利要求1所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，所述阴极荧光探头焦点到阴极荧光探头的距离为1~1.5mm。

3.根据权利要求1所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，所述探针固定装置包括X方向平移器、Y方向平移器及Z方向平移器，所述X方向平移器、Y方向平移器及Z方向平移器与外部控制器相连，用于使所述探针在X、Y、Z方向移动并与所述测试样品的电极接触。

4.根据权利要求3所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，所述X方向平移器、Y方向平移器及Z方向平移器均为压电平移器。

5.根据权利要求1所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，所述测试台上设置有至少两个放置测试样品的位置，以完成多个测试样品的测试。

6.根据权利要求1所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，在所述测试台上设置一加热模块，所述测试样品设置于所述加热模块上，所述加热模块用于加热所述待测试样品并控制加热温度。

7.根据权利要求6所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集装置，其特征在于，在所述测试台与所述加热模块之间设置有一隔热模块，所述隔热模块用于防止加热模块产生的热量传递到测试台上。

8.一种阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集的方法，其特征在于，包括如下步骤： （1）移动探针，使探针与测试样品的电极接触； （2）移动阴极荧光探头，使所述阴极荧光探头位于探针与物镜之间，所述测试样品位于阴极荧光探头的焦点； （3）提供电子束，使所述电子束照射测试样品表面；所述探针进行电子束诱导感生电流信号的采集，所述阴极荧光探头进行阴极荧光信号的采集。

9.根据权利要求8所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集的方法，其特征在于，所述测试台上放置有至少两个测试样品，所述方法进一步包括如下步骤： 步骤（3）测试结束后，将阴极荧光探头从探针与物镜之间移开，移动探针，重复步骤（1）~步骤（3）。

10.根据权利要求8所述的阴极荧光与电子束诱导感生电流原位采集的方法，其特征在于，进一步包括如下步骤： 在步骤（3）之前，启动加热模块对测试样品进行加热并控制加热温度，以实现在加热状态下对测试样品的测试。