[发明专利]晶舟倾斜自动感应装置

说明书

技术领域

本发明涉及微电子领域，具体涉及一种晶舟倾斜自动感应装置。

背景技术

随着社会的不断进步，高新技术产业日新月异，半导体行业得到了飞速的发展，但是随着半导体行业的不断成熟，市场竞争压力越来越大，如何有效的控制成本，节约能源，增加市场竞争力也显得越来越重要。

在半导体生产过程中，需要用晶舟承载晶片进行生产工艺，但是晶片在晶舟内如果产生倾斜，就容易造成碰撞、摩擦的情况产生。在生产中，如果能够有效的减少破片，撞片，叠片导致的晶片报废，就能从生产成本上降低开支，为企业增加市场竞争能力，同时也能够减少资源浪费，起到节约能源的作用。

现有技术在该领域为了防止晶片报废的方法是在晶舟外增加一个传感器来侦测晶舟内晶片的水平程度。其需要用到SMIF（标准机械接口），该传感器主要包括晶片极限位置传感器和晶片水平传感器，但这些设备只能对晶片在晶舟中的位置进行侦测，从而起到对装有晶片的晶舟进行控制，不会对空晶舟进行侦测。但是当晶舟并没有装载晶片，为空载的情况下，晶片的极限位置侦测传感器与水平位置侦测传感器就会失去其保护作用，无法对空载晶舟的水平状态进行侦测。

在生产过程中，如果空载晶舟一旦由于某种原因产生倾斜，例如：当需要从一道制程跑到另一道制程时，需要更换晶舟，以避免制程间的相互污染，在这情况下将晶片从一个一个正常晶舟传输到一个倾斜晶舟将会导致严重的后果，如若没有加装倾斜传感器的情况下，会直接导致晶舟内的晶片产生撞片，叠片，破片，造成生产事故。由于目前并没有采取措施对空载晶舟的倾斜程度进行侦测及控制，在这种倾斜情况下，若机械手臂还进行传输处理的话，晶片将会受到碰撞、摩擦，导致叠片，撞片，掉片与碎片等危害，对晶片造成损伤，甚至引起生产事故，进而影响了生产。

因此，如何有效地监控晶舟和晶片是否产生倾斜，进而避免生成事故的产生，成了本领域技术人员致力解决的方向。

中国专利（CN201478282U）公开了一种晶舟，包括多个均匀排列的晶片放置槽，所述的晶片放置槽根据所在位置的不同，被划分为不同的区域，不同区域的晶片放置槽上设置不同的标记。采用本实施例所述的晶舟，晶片放置槽上的序号突出醒目，晶片放置槽区域分明，大大降低了错误发生的几率，并且方便我们在测试试验的过程中观察晶片的装载，保证特定的晶片被正确的装载到实验仪器中去，提高了测试的准确性和效率;同时，还可以借助深、浅色带分界处的平行分割线，判断晶片的放置是否水平，避免出现斜放晶片的情况。

但是该专利仅仅是通过在晶舟设置醒目标记来提醒技术人员，该提醒方式比较落后，只能通过肉眼实时观察其标记来判断，而且如果晶舟一旦整体产生倾斜，技术人员可能无法及时发现晶舟的状态，导致生产事故的产生。

发明内容

本发明根据现有技术的不足提供了一种晶舟倾斜自动感应装置，通过在SMIF加装一晶片水平传感器，该传感器包括发射端、接收端、信号灯和控制面板，发射端和接收端位于同一水平线上，且接收端能接收来自发射端发射的光源，如果晶舟产生倾斜，则会在发射端和接收端形成阻挡，接收端无法接收来自发射端发射光源，进而通过信号灯提醒操作人员晶舟已经产生倾斜，以便及时做出调整，放置生产事故的产生。

本发明采用的技术方案为：

一种晶舟倾斜自动感应装置，其中，所述感应装置包括传感器、控制端和信号灯，所述控制端分别与所述传感器和所述信号灯相连；

所述传感器用于检测所述晶舟是否倾斜，并将晶舟是否倾斜的信号反馈至所述控制端，所述控制端根据传感器反馈的信号控制所述信号灯是否发出提醒信息。

上述的感应装置，其中，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述发射端和接收端分别位于晶舟外部的两侧且与所述晶舟互为两个独立的整体；所述发射端和接收端位于同一水平线上。

上述的感应装置，其中，所述光源发射端用于发射一直线光源信号；所述光源信号高于所述晶舟顶部平面且与水平线平行；所述光源接收端用于接收所述光源信号并将信息反馈至所述所述控制端。

上述的感应装置，其中，所述信号灯包括灯光提醒模块和语音提醒模块。

上述的感应装置，其中，所述控制端有一操作面板，所述操作面板用于控制所述传感器和信号灯的工作状态。

上述的感应装置，其中，所述感应装置设置有一标准机械接口。

上述的感应装置，其中，所述传感器包括一组或多组光源发射端和光源接收端。