[发明专利]以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种密封元器件密封性检测方法，尤其涉及一种以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法。

背景技术

密封元器件的密封严密等级τ_Hemin是一项重要的指标，这个指标有助于保证密封元器件在特定的环境中，经一定时间的贮存后内部水汽不超过5000ppm。当长时间贮存后密封元器件的内部水汽含量大于5000ppm时，则无法保证元器件的可靠性，进而影响装置、设备整体的性能和稳定性。

现在有许多的密封性检测方法，以这些方法为标准给出测量漏率判据，再根据这些漏率判据检测出合格产品。这些方法存在的相同问题是灵敏度和准确性不够，经检测合格的产品依然有可能不能满足长期可靠贮存和使用的要求。

发明内容

本发明的目的是提出一种具有更高灵敏度和准确性的以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法，所述方法采用氦气含量法或氩气含量法对密封元器件进行内部气体质谱分析，判断被检测密封元器件的密封性是否合格。

特别是，所述方法包括下述步骤：

步骤1选择：对严密等级值高于可用氦质谱检漏仪可检测的严密等级值且允许破坏性试验的密封元器件被检件，根据所述被检件的预充气体选择采用氦气含量法或氩气含量法；

步骤2设计：根据被检件的严密等级τ_Hemin、检漏历史数据和步骤1中所选的氦气含量法或氩气含量法，设计计算内部气体分析的判据，设计确定压氦或压氩的压力，设计计算压氦或压氩时间，设计计算内部气体分析前的最长候检时间，确定被检件在内部气体分析前是否需要进行粗漏检测；

步骤3压氦或压氩：将被检件放入压气箱中，抽真空，然后按步骤2所设计的压力将氦气或氩气充入压气箱，并在设计的压氦或压氩时间内保压；当所述被检件在内部气体分析前不需要进行粗检漏时，转至步骤5；

步骤4粗漏检测：当所述被检件在内部气体分析前需要进行粗漏检测时，在最长候检时间之内，进行最小可检漏率L₀=1.0Pa·cm³/s的适用方法的粗漏检测；

步骤5内部气体质谱分析：采用氦气含量法时，在压氦后的最长候检时间之内，在常温下进行内部气体分析；采用氩气含量法时，当P_Armax/P₀≤7470ppm时，在t_0a或t_Ar1时间进行内部气体分析；当P_Armax/P₀≥11200ppm时，在压氩后的最长候检时间之内进行内部气体分析；依据内部气体分析的氦气或氩气含量判定被检件密封性是否合格。

进一步，在步骤1中，当被检件密封时所预充气体中不含氦气时，选择本方法的氦气含量法；当被检件密封时所预充气体中不含氩气时，选择本方法的氩气含量法。

进一步，在步骤2中，设计内部气体质谱分析时内部氦气或氩气含量判据：

当采用氦气含量法时，忽略空气中的氦气含量P_He0=0.533Pa，预充气体总气压为1.00P₀～1.05P₀的被检件，其中P₀为标准大气压，P₀=1.013×10⁵Pa，经n次压氦进行内部气体分析时，其中n≥1，被检件内部氦气分气压P_He为：