[发明专利]一种硅片脱胶预冲洗装置在审
| 申请号: | 201310448760.4 | 申请日: | 2013-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN103506333A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
| 发明(设计)人: | 刘耀峰;潘振东 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00 |
| 代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 刘洪京 |
| 地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 脱胶 冲洗 装置 | ||
技术领域
本发明属于太阳能光伏制备领域,具体涉及一种硅片脱胶预冲洗装置。
背景技术
崩边是多晶硅片在切片过程及脱胶过程产生的重大异常之一,且变化性较强。
多晶硅棒在切割时需要对一侧硅棒进行与玻璃的粘接,所采用的胶水基本都为AB胶。此胶水在不同温度下膨胀大小不同。
夏季及冬季温度差异较大,多晶硅片在切割后一般温度都在25-30度。而在夏天预冲洗水温一般在18-23度左右,冬季一般只有5-9度,这就导致胶水的膨胀系数不同,从而导致冬季崩边数量要比夏季偏高较多。夏季崩边比率一般在1%左右,冬季崩边比率在4%左右。基本各硅片生产厂商都存在此种问题,无法解决。
发明内容
本发明提供了硅片脱胶预冲洗装置,能有效的解决硅片崩边的问题。
本发明提供一种硅片脱胶预冲洗装置,所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器(3),所述板式换热器(3)上端两侧分别设有第一入口(2)和第二入口(4),第一入口(2)与铸锭炉冷却水(1)的出口(7)相连,第二入口(4)为冷水注入口,板式换热器(3)的下端设有板式换热器出口(5),与硅片预冲洗管道(8)连接,预冲洗口(6)设在硅片预冲洗管道8的另一端。
优选地,在所述板式换热器出口(5)处设置有温度计;在所述第二入口(4)处设置有可以控制水流大小的阀门。
优选地,将铸锭炉冷却水(1)替换为单晶炉冷却水或单晶炉冷却水和铸锭炉冷却水的混合液。
应用本发明的硅片脱胶预冲洗装置,可以使硅片脱胶预冲洗进水水温固定在20℃-25℃,以适应硅片切割完的温度,减轻胶水冷热收缩的问题,提高了合格率并降低崩边比率。同时由于铸锭炉和/或单晶炉的冷却水回水通过板式换热器后会带掉部分热量,减少了冷却水机器的能耗,从而降低了铸锭及单晶在冷却水冷却上的能耗。
附图说明
图1为本发明的硅片脱胶预冲洗装置示意图;
其中,1为铸锭炉冷却水,2为第一入口,3为板式换热器,4为第二入口,5为板式换热器出口,6为预冲洗口,7为出口,8为硅片预冲洗管道。
具体实施方式
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明。
如图1所示,板式换热器3上端两侧分别设有第一入口2和第二入口4,第一入口2与铸锭炉冷却水1的出口7相连,第二入口4为冷水注入口,板式换热器3的下端设有板式换热器出口5,与硅片预冲洗管道8连接,预冲洗口6设在硅片预冲洗管道8的另一端。
使用时,将铸锭炉在加热过程中产生的热量通过冷却水,将铸锭炉冷却水(温度为30℃)通过第一入口2传递至板式换热器,同时,将自来水(随着气温而变化,夏天预冲洗水温一般在18-23℃左右,冬季一般只有5-9℃)通过第二入口4传递至板式换热器,两种温度不同的水在板式换热器3中进行热交换,之后从板式换热器出口5中流至硅片预冲洗管道8中,通过预冲洗口6对硅片脱胶进行预处理。
本发明还可以在板式换热器出口5处设置一温度计,用来测量出口处水温;同时,在第二入口4处设置可以控制水流大小的阀门(图中未标示),根据温度计所示的温度调整自来水注入速度,将板式换热器出口5处的水温控制在一定范围内(20-25℃)。
除了使用铸锭炉冷却水外,本发明还可以使用单晶炉冷却水,或者铸锭炉和单晶炉冷却水的混合。
本发明对板式换热器的型号没有要求,只要能完成本发明目的即可。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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