[发明专利]一种硅片脱胶预冲洗装置在审
| 申请号： | 201310448760.4 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103506333A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 冲洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片脱胶预冲洗装置，其特征在于：所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器（3），所述板式换热器（3）上端两侧分别设有第一入口（2）和第二入口（4），第一入口（2）与铸锭炉冷却水（1）的出口（7）相连，第二入口（4）为冷水注入口，板式换热器（3）的下端设有板式换热器出口（5），与硅片预冲洗管道（8）连接，预冲洗口（6）设在硅片预冲洗管道8的另一端。
2.根据权利要求1所述的硅片脱胶预冲洗装置，其特征在于：在所述板式换热器出口（5）处设置有温度计；在所述第二入口（4）处设置有可以控制水流大小的阀门。
3.根据权利要求1所述的硅片脱胶预冲洗装置，其特征在于：将铸锭炉冷却水（1）替换为单晶炉冷却水或单晶炉冷却水和铸锭炉冷却水的混合液。
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