[发明专利]一种多孔钽棒及其应用

权利要求书

1.一种多孔钽棒，包括本体，所述本体的一端设置有凹槽，另一端为螺纹结构，所述螺纹结构末端端面上设置有槽口。

2.根据权利要求1所述的多孔钽棒，其特征在于，所述凹槽的长度与本体长度的比为1～3:10。

3.根据权利要求1所述的多孔钽棒，其特征在于，所述凹槽的宽度与本体中非螺纹结构部分的直径的比为4～7:10。

4.根据权利要求1所述的多孔钽棒，其特征在于，所述本体的设置有凹槽的一端端面为半球头状，所述槽口为一字型、十字形或六角形。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的多孔钽棒，其特征在于，所述本体采用的材料的孔隙度为70～90%，孔径为200～600μm。

6.根据权利要求5所述的多孔钽棒，其特征在于，所述本体采用的材料是利用化学气相沉积方法，将钽金属化合物还原为钽金属粉，均匀沉积于石墨碳骨架表面形成钽涂层制备得到，其中所述钽金属化合物为五氯化钽、氟化钽中的一种；所述石墨碳骨架的孔隙率>70%,孔径为200～600μm；所述钽涂层的厚度为40～60μm。

7.一种如权利要求6所述的多孔钽棒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将权利要求6所述石墨碳骨架用稀盐酸浸蚀10～20min，依次用水和乙醇清洗后用氮气吹干，置入反应室内；

（2）反应室内同时通入处理气体和氢气，在900～1050℃，真空度10～15Pa条件下，反应4-6小时；其中所述处理气体包含钽金属化合物和载气，将钽金属化合物放入源罐中，加热至120～250℃，300℃惰性气体为载气通入至反应室。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气、氦气中的一种或两种的混合。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述处理气体的流量为80～100ml/min。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述氢气的流量为100～150ml/min。