[发明专利]一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法

权利要求书

1.一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其步骤包括：

把含有微孔和/或狭缝的精密零部件固定好推入清洗釜中的步骤；

在清洗釜中边超临界二氧化碳清洗边超声波清洗的步骤；

清洗混合物分离的步骤及分离后的超临界二氧化碳进行循环利用的步骤；

用超临界二氧化碳冲洗清洗釜内清洗液体并泄压排污的步骤；

把清洗好的含有微孔和/或狭缝的精密零部件退出于清洗釜并卸载下的步骤。

2.根据权利要求1所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述把含有微孔和/或狭缝的精密零部件固定好推入清洗釜中的步骤，具体表现为，把含有微孔及狭缝的精密零部件装入料筐，使用夹具固定精密零部件，将其推入清洗釜中，使料框与磁力驱动器的驱动轴相连接，安装封头；所述精密零部件的微孔直径为5mm以下，深径比大于8。

3.根据权利要求1所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述在清洗釜中边超临界二氧化碳清洗边超声波清洗的步骤；具体表现为，打开制冷系统，待制冷温度为-20～0℃后，打开二氧化碳钢瓶和阀门，二氧化碳通过管道进入净化罐，二氧化碳流量为20～1000L/h；打开高压泵和加热系统，当管道中二氧化碳达到压力为7.5～100MPa，温度为32～120℃后，二氧化碳便处于超临界状态；缓慢打开阀门，超临界二氧化碳进入喷嘴对精密零部件表面吹洗，同时通过磁力驱动装置让料筐旋转起来；5～20min后，将超声波换能器打开，超声波换能器的功率密度为0.3～2W/cm²，频率为10～60kHz，边超临界二氧化碳清洗边超声波清洗，同时带有喷嘴冲击清洗。

4.根据权利要求3所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述制冷系统的制冷温度为-10～-5℃，二氧化碳流量为50～100L/h，超临界二氧化碳所处的压力为20～30MPa，温度范围为50～60℃。

5.根据权利要求3所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述超声波换能器打开之前的时间为10～15min，超声波换能器的功率密度为0.5～1W/cm²，最优频率为19～22kHz。

6.根据权利要求1所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述清洗混合物分离的步骤及分离后的超临界二氧化碳进行循环利用的步骤，具体表现为，从清洗釜出来的清洗混合物经过背压阀进入分离器，调整分离器的压力值小于7.5MPa，使污物与超临界二氧化碳分离；二氧化碳经阀门由制冷系统冷凝成液态，经高压泵进行循环使用。

7.根据权利要求1所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述用超临界二氧化碳冲洗清洗釜内清洗液体并泄压排污的步骤，具体表现为，超声波换能器作用时间5～120min后，关闭超声波换能器，用超临界二氧化碳冲洗清洗釜中的清洗液体2～15min，关闭阀门；打开放空阀泄压。

8.根据权利要求7所述的一种超声波辅助超临界二氧化碳清洗精密零部件的方法，其特征在于，所述超声波换能器作用时间为30～60min，超临界二氧化碳冲洗时间为5～10min。