[发明专利]一种用于MOCVD反应器的支撑轴及MOCVD反应器

权利要求书

1. 一种用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，包括用于与旋转驱动机构相连的支撑轴底部（601），由至少一个隔热套（606）构成的支撑轴中部，以及用于与晶片载盘（9）耦合的支撑轴顶部（605）；所述支撑轴顶部（605）、支撑轴中部和支撑轴底部（601）之间固定相连，且支撑轴底部（601）、支撑轴中部和支撑轴底部（601）之间连通有过气通道；所述支撑轴顶部（605）呈锥台形，该支撑轴顶部（605）装有连接环（901），连接环（901）顶部装有固定盖板（902），所述固定盖板（902）顶部装有隔热盖板（903）。

2. 根据权利要求1所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述隔热套（606）的数量为1~20个；当隔热套（606）为多个时，相邻两个隔热套（606）之间设有加强套（603），该加强套（603）设有中心孔。

3. 根据权利要求1所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述支撑轴顶部（605）内设有沉孔（614），所述支撑轴中部开有孔，所述支撑轴底部（601）均开有螺纹盲孔（615）；所述支撑轴顶部（605）、支撑轴中部和支撑轴底部（601）之间通过紧固螺钉或螺栓（602）固定相连，其中紧固螺钉或螺栓（602）的螺钉头或螺栓头（613）位于支撑轴顶部（605）的沉孔（614）内，穿过支撑轴中部的孔的紧固螺钉或螺栓（602）的螺杆位于所述螺纹盲孔（615）内；所述紧固螺钉或螺栓（602）沿其轴线开有贯通紧固螺钉或螺栓（602）上下表面的通气孔（611）；所述紧固螺钉或螺栓（602）的底部通过一通气小孔（607）与支撑轴底部（601）外表面连通。

4. 根据权利要求3所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述支撑轴顶部（605）的沉孔（614）的底端面与所述螺钉头或螺栓头（613）之间装有隔热垫（610）和加热垫（609）。

5. 根据权利要求4所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述加强垫（609）呈圆锥形，其锥面大端与隔热垫（610）贴合、锥面小端与螺钉头或螺栓头（613）贴合。

6. 根据权利要求1所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述连接环（901）与固定盖板（902）为螺纹连接。

7. 根据权利要求3所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述紧固螺钉或螺栓（602）顶部设有位于所述支撑轴顶部（605）的沉孔（614）内的隔热罩（604），该隔热罩（604）上开有贯穿隔热罩（604）上下表面的通气孔（608）；所述紧固螺钉或螺栓（602）的通气孔（611）与隔热罩（604）的通气孔（608）连通。

8. 根据权利要求1所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述固定盖板（902）与隔热盖板（903）之间具有间隙（911）。

9. 根据权利要求8所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述固定盖板（902）顶面具有至少三个突起（910），所述隔热盖板（903）置于至少三个突起（910）上。

10. 根据权利要求2所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述加强套（603）由难熔金属或陶瓷制成。

11. 根据权利要求3所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述紧固螺钉或螺栓（602）由难熔金属制成。

12. 根据权利要求1或6所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述连接环（901）包括内环和外环，以及设置在内环与外环之间的连接件。

13. 根据权利要求12所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述连接件为有陶瓷材料制成的辐板或辐条。

14. 根据权利要求10或11所述的用于MOCVD反应器的支撑轴，其特征在于，所述难熔金属为钨或钼。

15. 一种MOCVD反应器，包括旋转支撑轴（6）和装在旋转支撑轴（6）顶端的晶片载盘（9），位于晶片载盘（9）上方的喷淋头（12）；其特征在于，所述晶片载盘（9）包括晶片载盘盘体（904），设置在晶片载盘盘体（904）轴心位置的通孔（906），该通孔（906）的上部为设置在晶片载盘盘体（904）上表面轴心位置的沉孔（907），该通孔（906）的下部为锥形孔（905）；所述旋转支撑轴（6）为权利要求1~13之一所述的支撑轴，所述隔热盖板（903）和固定盖板（902）位于该晶片载盘盘体（904）的沉孔（907）内，所述连接环（901）的外表面位于所述通孔（906）的锥形孔（905）内；所述固定盖板（902）和连接环（901）之间为螺纹连接。