[发明专利]连续化低压石墨烯生长系统

权利要求书

1.一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：主要包括加热炉体、流量控制与气体混合系统、PLC集成控制模块、真空系统、伺服电动机及减速器，所述加热炉体内设有伺服电动机，所述加热炉体的一端与真空系统相连接，另一端与流量控制与气体混合系统相连接。

2.根据权利要求1所述的一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：所述加热炉体内设有石英管以用于石墨烯生长和真空获得。

3.根据权利要求1所述的一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：所述的流量控制与气体混合系统包括至少2个进气口和与石英管连接的出气口。

4.根据权利要求1所述的一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：所述的PLC集成控制模块可以采集热电偶、真空压力计、气体流量计等数据，并在控制面板上显示和控制。

5.根据权利要求1所述的一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：所述真空系统可以让石英管内保持低压状态；同时可调节真空系统的抽气速率和气压。

6.根据权利要求1所述的一种连续化低压石墨烯生长系统，其特征是：所述伺服电动机及减速器包括主动与从动两个部分，分别放置于石英管的两端，通过调节电动机的转速，控制铜箔匀速通过加热炉体并完成石墨烯生长。