[发明专利]一种高真空烧结炉

权利要求书

1.  一种高真空烧结炉，包括炉体、炉门、机组系统、真空系统、充气放气系统、气动装置、加热及保温装置、冷却系统及控制柜，其特征是，炉体为设置有双层壁水套的卧式圆筒结构，炉门枢接在圆筒结构的一端，炉门包括位于外层的保温层和位于内层的钼带加热层，炉门的内层为凸台形状的结构；炉体上分布有若干个热电偶、一个放气阀和一个充气阀，充气放气系统通过放气阀和充气阀与炉体的内腔连通；控制柜上设有触摸屏和以CPU为核心的控制机，热电偶分别与CPU的输入端连接；真空系统包括通过管接头和阀门与炉体的内腔连通的至少3级真空泵，而且真空泵的总抽气量比炉体内腔气量至少大一倍以及真空泵极限真空度高于炉体内腔真空度的要求超过一个数量级，真空泵的类型包括扩散泵和机械真空泵；放气阀、充气阀及炉门的动作由气动装置控制；冷却系统包括通过换热器与双层壁水套连接的冷却水输送装置以及与换热器配套的冷却风机。

2. 根据权利要求1所述的一种高真空烧结炉，其特征是，真空系统包括与炉体的内腔连通且相互为并联关系连接的主阀和粗抽阀，主阀的出口端连接扩散泵，粗抽阀出口端的一个支路通过前级阀与扩散泵的输出端连接，粗抽阀出口端的另一个支路与机械真空泵连接。

3. 根据权利要求2所述的一种高真空烧结炉，其特征是，真空泵设有4-5级，包括一级扩散泵和3-4级机械真空泵，其中的扩散泵为油扩散泵，机械真空泵包括由若干台串联的罗茨泵所组成的罗茨泵组和若干台并联的机械泵所组成的机械泵组，罗茨泵组与机械泵组串联连接。

4.根据权利要求3所述的一种高真空烧结炉，其特征是，真空泵包括1台油扩散泵、2台罗茨泵及至少2台机械泵，罗茨泵组的输入和输出端并联有旁路阀。

5. 根据权利要求3所述的一种高真空烧结炉，其特征是，机械泵组由2-5台规格和性能都相同的滑阀机械泵并联组成。

6. 根据权利要求4或5所述的一种高真空烧结炉，其特征是，罗茨泵组由抽气量不同的2台罗茨泵串联组成。

7. 根据权利要求1、2、3、4或5所述的一种高真空烧结炉，其特征是，换热器由一台大换热器和一台容量相对较小的小换热器串联组成。

8. 根据权利要求7所述的一种高真空烧结炉，其特征是，充气放气系统包括由GZ-25隔膜阀、GE-10隔膜网和气缸阀依次串联并通过充气高压管与氩气瓶连接构成的充气装置，充气装置连接有充气压力表。

9. 根据权利要求8所述的一种高真空烧结炉，其特征是，炉体上分布有3个热电偶，其中一个布设在炉体上侧，另一个布设在炉体的下侧，还有一个布设在炉体上与炉门相对的另一端。