[发明专利]一种用于环境监测传感器的气敏元件及环境监测传感器

权利要求书

1. 一种用于环境监测传感器的气敏元件，包括基板和在基板上刻蚀的至少一道光波导底板，在所述光波导底板上设置有光波导层，所述光波导层上设置有高灵敏度层，其特征在于，所述高灵敏度层的成分为95%～99.5%的五氧化二钽和0.5%～5%的钇，所述高灵敏度层的厚度为50～200nm，所述高灵敏度层上设置有气体敏感材料层。

2. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为99.9%～99.999%的氧化铌和0.001%～0.1%的钯，所述气体敏感材料层的厚度为5～20nm。

3. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为98%～99.8%的氟化铝、0.1%～1%的铈和0.1%～1%的镨，所述气体敏感材料层的厚度为10～40nm。

4. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为94.9%～99.89%的氧化铌、0.1%～5%的钇和0.01%～0.1%的镧，所述气体敏感材料层的厚度为5～20nm。

5. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为95%～99.9%的氧化镧和0.1%～5%的铟，所述气体敏感材料层的厚度为5～20nm。

6. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为99%～99.99%的氧化铟和0.01%～1%的钕，所述气体敏感材料层的厚度为20～30nm。

7. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述气体敏感材料层的成分为99.8%～99.989%的氧化镁、0.01%～0.1%的钯和0.001%～0.1%的镝，所述气体敏感材料层的厚度为30～80nm。

8. 根据权利要求1所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，在所述基板上相对位置的两个端部分别设置有发射室和接收室，在所述发射室内设置有发光器件，在所述接收室内设置有光电检测器件；所述光波导底板的两端具有弯曲部，两个弯曲部分别位于所述的发射室和接收室内。

9. 根据权利要求1至8任一项所述的用于环境监测传感器的气敏元件，其特征在于，所述基板上设置多道光波导底板，在每一道所述的高灵敏度层上设置有不同的气体敏感材料层。

10.一种环境监测传感器，其特征在于，设置有如权利要求1至9中任一项权利要求所述的用于环境监测传感器的气敏元件。