[发明专利]支架抛光装置和支架抛光方法

权利要求书

1.一种电化学抛光中的支架抛光装置，包括金属电极和设置在电解液中的阴极，其特征在于，还包括：

连接部，用于将待抛光支架和所述金属电极连接以形成阳极；

扩展部，包括两个金属管，分别设置在所述待抛光支架的两端，用于在电化学抛光过程中增加所述阳极的长度。

2.根据权利要求1所述的支架抛光装置，其特征在于，

所述连接部为一芯轴，且所述金属管、待抛光支架与所述金属电极均以所述芯轴为轴，同轴安装在所述芯轴上。

3.根据权利要求1所述的支架抛光装置，其特征在于，所述装置还包括：

一用于盛放电解液的电解槽。

4.根据权利要求1所述的支架抛光装置，其特征在于，所述装置还包括：

绝缘环，以所述芯轴为轴，安装在所述金属电极和所述金属管之间。

5.根据权利要求1所述的支架抛光装置，其特征在于，所述装置还包括：

抛光海绵，与所述待抛光支架的外表面相接触。

6.根据权利要求5所述的支架抛光装置，其特征在于，所述装置还包括：

悬臂，与所述连接部相连接，用于在电化学抛光过程中控制所述待抛光支架的外表面相对于所述抛光海绵旋转摩擦。

7.根据权利要求1所述的支架抛光装置，其特征在于，所述金属管的长度为1mm-25mm，所述金属管与所述待抛光支架之间的距离为0.5mm-10mm。

8.根据权利要求4所述的支架抛光装置，其特征在于，所述绝缘环的长度为1mm-50mm。

9.一种电化学抛光中的支架抛光方法，应用于对电解液中的作为阳极的待抛光支架进行抛光，所述待抛光支架与一金属电极连接形成阳极，特征在于，包括：

对所述待抛光支架进行电解抛光，其中，在抛光过程中，利用预先设置在所述待抛光支架的两端的金属管，增加所述阳极的长度。

10.根据权利要求9所述的支架抛光方法，其特征在于，所述金属管与所述待抛光支架之间隔有一段距离，且所述金属管与所述待抛光支架同轴安装在同一芯轴上。

11.根据权利要求9或10所述的支架抛光方法，其特征在于，所述对所述抛光支架进行电解抛光包括：

将抛光海绵固定在基板上放入电解液中，使所述抛光海绵与水平方向的夹角为20°-80°；

将固定在所述芯轴上的金属电极与一悬臂相连接，控制所述悬臂上下移动，使所述待抛光支架沿着所述抛光海绵的倾角做相同角度的斜线运动，与所述抛光海绵进行旋转摩擦。

12.根据权利要求9或10所述的支架抛光方法，其特征在于，所述对所述抛光支架进行电解抛光包括：

将固定在所述芯轴上的金属电极与一悬臂相连接，固定所述悬臂使所述待抛光支架浸入到电解液中；

将抛光海绵固定在基板上放入电解液中，使所述抛光海绵与水平方向的夹角为20°-80°，并控制所述抛光海绵沿着该夹角做往复运动，与所述抛光海绵进行旋转摩擦。