[发明专利]一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量方法

权利要求书

1.一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量方法，其特征在于包括提供一种4f光学信息处理系统，该4f光学信息处理系统包括照明点光源、准直透镜、系统的输入平面、第一傅立叶变换透镜、频谱面、第二傅立叶变换透镜与系统的输出平面，其中输入平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离、频谱面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离，以及输出平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离均为f；上述测量方法还包括以下步骤：

a在系统的输入平面上放置待测棱镜；

b在频谱面上放置一低通振幅型滤波器，用于消弱零级频谱和滤除二级及以上频谱；

c在系统的输出平面上放置CCD探测器，并把CCD探测器与计算机相连；

d通过上述CCD探测器和计算机采集输出平面上的干涉光场的光强分布图样，根据光强分布图样计算得出条纹间距，并利用条纹间距与胶合误差之间的关系计算得出胶合误差。

2.根据权利要求1所述的一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量方法，其特征在于：上述步骤b中，低通振幅型滤波器只允许零级和一级频谱分量通过，并且对一级频谱分量的振幅透射比为1，对零级频谱分量的透射比为光束在空气隙上的光强反射比的平方。

3.根据权利要求1所述的一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量方法，其特征在于：上述步骤d中，光强分布图样若存在条纹比较密集的情形，则采取用多个条纹的总宽度除以条纹个数的方式得出条纹间距。

4.根据权利要求1所述的一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量方法，其特征在于：上述步骤d中，包括以下算式：

f=2tanωcosjλ]]>

ω=arctanfλ2cosj=arctanλ2Dcosj]]>

其中，f为条纹的空间频率，λ为入射光的波长，ω为胶合误差角，j是光束在空气隙上表面的折射角，D=1/f是输出平面上干涉条纹的宽度。