[发明专利]一种利用准光学谐振腔快速实时诊断等离子体的新方法在审
| 申请号： | 201310247383.8 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN104244554A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陶冰洁;谢冰;郭高凤;李恩;高源慈;郑虎 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 光学 谐振腔 快速 实时 诊断 等离子体 新方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用准光学谐振腔快速实时诊断等离子体的新方法，诊断装置包括准光学谐振腔(1)和矢量网络分析仪(2)。
2.根据权利要求1所述的利用准光学谐振腔快速实时诊断等离子体的方法，其特征在于：对于准光学谐振腔(1)而言，矢量网络分析仪(2)产生的测试信号通过同轴线、耦合孔进入谐振腔；谐振腔产生的输出信号经另一耦合孔、同轴传输线传回至矢量网络分析仪(2)。
3.根据权利要求1或2所述的利用准光学谐振腔快速实时诊断等离子体的方法，其特征在于：用两台或更多台矢量网络分析仪选取不同频率进行点频测试(CW Sweep)，测量等离子体经过准光学谐振腔时信号的幅值和相位，利用测得的两个或多个频率点信号的幅值和相位计算出等离子体的电子浓度和电子温度。
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