[发明专利]位置测量设备

权利要求书

1.位置测量设备，包括：

－具有码元（C1－C16）序列的码载体（1），其中每个码元（C1－C16）由两个具有彼此互补的特性的部分区域（C1A,C1B-C16A,C16B）构成，所述部分区域（C1A,C1B-C16A,C16B）相继跟随地布置在测量方向X上；

－具有多个探测器（E1-E10；F1-F10）的扫描设备（2），所述探测器（E1-E10；F1-F10）用于扫描定义各一个码字（W1-W16）的码元（C1-C16）以及形成码元（C1-C16）的所述部分区域（C1A,C1B-C16A,C16B）中的各一个部分区域内的至少一个扫描信号（SE1-SE10;SF1-SF10）；

－分析单元（4），其被构造为从扫描信号（SE1-SE10;SF1-SF10）中为码元（C1-C16）中的每一个码元生成码信息（B1-B4）并且从码信息（B1-B4）中形成码字（W1-W16），

其特征在于，

设置第一码道（11）以及与其平行延伸的第二码道（12），并且第一码道（11）和第二码道（12）分别具有码元（C1-C16）的相同序列；以及

定义测量方向X上的绝对位置的码字（W1-W16）由第一码道（11）的相继跟随的码元（C1-C16）的N个码信息（B1,B2）以及由第二码道（12）的相继跟随的码元（C1-C16）的K个码信息（B3,B4）组成，其中N和K大于1。

2.根据权利要求1所述的位置测量设备，其特征在于，码元（C1-C16）的两个部分区域（C1A,C1B-C16A,C16B）具有彼此互补的光学特性，并且第一码道（11）和第二码道（12）被共同的扫描射束（A）照射。

3.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，第二码道（12）的码元（C1,C16）的顺序相对于第一码道（11）的码元（C1,C16）的顺序在测量方向X上如此移动地布置在码载体（1）处，使得第一码道（11）和第二码道（12）的形成码字（W1-W16）的码元（C1-C16）至少部分重叠。

4.根据权利要求3所述的位置测量设备，其特征在于，所述移动为V＝N/2+K/2个码元（C1-C16）。

5.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，分析单元（4）包括比较设备（T1-T16），其中从探测器（E1-E10；F1-F10）给所述比较设备（T1-T16）各输送两个扫描信号（SE1-SE10；SF1-SF10），所述探测器（E1-E10；F1-F10）在测量方向X上具有与两个在测量方向X上相继跟随地布置的部分区域（C1A-C16A；C1B-C16B）相同的间隔，并且比较设备（T1-T16）分别被构造为通过比较所输送的扫描信号（SE1-SE10;SF1-SF10）来生成码信息（B1-B4）。

6.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，给第二码道（12）中的序列的至少一个码元（C3）分配用于形成冗余扫描信号（SF2）的探测器（F2），给该码元还在第一码道（11）中分配用于形成扫描信号（SE10）的探测器（E10）。

7.根据权利要求6所述的位置测量设备，其特征在于，第一码道（11）和第二码道（12）的冗余扫描信号（SE10,SF2）被输送给分析单元（4），以便将从第一码道（11）中导出的冗余扫描信号（SE10）与第一码道（11）的扫描信号（SE8）相比较并且将从第二码道（12）中导出的冗余扫描信号（SF2）与第二码道（12）的扫描信号（SF4）相比较。

8.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，探测器（E1-E10；F1-F10）在测量方向X上以与部分区域（C1A-C16A,C1B-C16B）的一半长度相对应的间隔布置。

9.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，与第一码道（11）和第二码道（12）平行地布置增量道（3）。

10.根据权利要求1或2所述的位置测量设备，其特征在于，第一码道（11）和第二码道（12）圆环形地布置，并且码元（C1-C16）的扇形宽度分别等于第一码道（11）和第二码道（12）。

11.根据权利要求9所述的位置测量设备，其特征在于，K小于N，并且增量道（13）布置在半径RI上，第一码道（11）布置在半径RN上并且第二码道（12）布置在半径RK上，其中RI>RN>RK。