[发明专利]一种传感器安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种传感器安装装置。

背景技术

在各种自动化设备中，经常需要使用传感器对机构的动作和位置进行检测并反馈给控制系统，其中，非接触的光电感应型传感器，特别是激光对射式感器，由于其具备非接触、精度高、响应快、可远距离检测等优点，在自动化设备上得到越来越广泛应用。

激光对射式传感器由发射器和接收器两部分组成，发射器投射的激光束直径小(直径Φ约0.5～3mm)且高度准直，然而接收器的受光窗口通常也比较小(直径Ф约5～8mm)，因此两者在安装时要求精确对准，这就对传感器的安装装置提出要求：1)传感器的位置可调节范围较大，能补偿角度、位置等各种安装偏差；2)具备精细的调节能力；3)操作方便，锁定可靠等。

图1是一种常见的传感器安装装置，101是传感器安装件，固定螺钉103穿过101上的横向长圆孔，将激光对射传感器的发射端104(发射器)安装在传感器安装件101上，102是传感器窗口(或设备上可用来固定传感器的其它结构)，安装螺钉105穿过传感器安装件101两侧的纵向长圆孔将101固定在102上。调节时，先拧松固定螺钉103和安装螺钉105，然后用101上的横向和纵向长圆孔来调整传感器在水平和竖直方向的位置，调整好再拧紧螺钉。但是，发明人发现现有传感器安装装置至少存在以下缺陷：

1、不能直接补偿传感器安装时的角度偏差，位置调节范围也有限。尤其是当激光对射传感器的发射端和接收端相距较远时，两侧的安装面即便有较小的不平行都会导致发射端的光束产生较大的位置偏差。

2、操作不方便。调整时需要先拧松各处螺钉，手动调好位置后保持不动，再用另一只手拧紧螺钉完成固定，存在二次紧固操作，不仅操作不便而且容易发生因二次紧固导致调整好的位置又发生变化，在某些不便操作的狭窄工位甚至需要两个人协作才能完成调整。

3、位置调节操作完全是靠人工在纵横两个方向移动安装件的位置来实现，很难实现精细、准确的调节。

发明内容

本发明提供一种传感器安装装置，可实现传感器的倾斜角度的调节，并且调节和锁定同步完成，简化了操作步骤。

为解决上述技术问题，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种传感器安装装置，包括：角度调整块、移动调整块和弹性连接件，其中：

所述角度调整块和移动调整块平行设置，传感器与所述角度调整块的一端固定连接，使所述传感器位于所述角度调整块和移动调整块之间的平行空间内，所述角度调整块用于调整所述传感器的角度；所述移动调整块用于调整所述传感器的位置；

所述弹性连接件垂直于所述角度调整块和移动调整块，所述弹性连接件的两端分别与所述角度调整块的另一端的侧面和所述移动调整块的侧面固定链接，从而将所述角度调整块和移动调整块连接在一起；

通过使所述弹性连接件产生朝向或远离所述传感器的方向弯曲，实现所述传感器俯角或仰角的调节；通过使所述移动调整块产生水平方向上的位移，实现所述传感器位置的调节。

本实施例的第一种具体实施方式中，所述移动调整块上设置有安装孔，用以调整所述整传感器的固定位置，

所述角度调整块在远离所述弹性连接件的一端设置有通孔和螺纹通孔，所述移动调整块在与所述通孔对应的位置设置有螺纹孔，紧固螺钉穿过所述通孔并拧在所述螺纹孔内，顶起螺钉穿过所述螺纹通孔直接顶在所述移动调整块上，通过旋紧紧固螺钉来拉动所述角度调整块使所述弹性连接件产生朝向所述传感器的弯曲，通过旋拧顶起螺钉来顶起所述角度调整块使所述弹性连接件产生远离所述传感器的弯曲。

具体地，所述移动调整块在远离所述弹性连接件的一端向下反折形成安装面，所述安装孔设置在所述安装面上。

进一步地，所述传感器安装装置，还包括：传感器窗口框，在所述传感器窗口框上设置有一排等间距排列的安装螺纹孔，所述安装螺纹孔用于固定所述移动调整块。

优选地，所述弹性连接件由弹簧钢制成。

可选地，所述弹性连接件为弹性片，且所述弹性片的厚度为0.5mm。