[发明专利]光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及环境评价技术，尤其涉及光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法。

背景技术

在生物洁净室等洁净室中，采用粒子检测装置来对飞散的粒子进行检测和记录（例如，参照非专利文献1。）。光学式的粒子检测装置例如对洁净室中的气体进行吸引，对所吸引的气体照射光。如果气体中包含有粒子的话，由于光被粒子散射，所以能够检测气体中所包含的粒子的浓度、大小等。

【现有技术文献】

【非专利文献】

【非专利文献1】长谷川伦男及其他，「气体中微生物实时检测技术及其应用」，株式会社山武，azbil Technical Review2009年12月号，p.2-7，2009年

发明内容

发明要解决的课题

关于光学式的粒子检测装置，存在发光的光源的寿命比其他部件短的倾向。因此，有时候需要进行更换光源的维护。但是，更换光源的话，有时候还需要对由透镜等构成的光学系统进行复杂的维护。因此，本发明的目的之一在于，提供一种容易维护的光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法。

用于解决课题的手段

根据本发明的形态，提供一种光学式粒子检测装置，其具有：（a）发光的光源；（b）对光进行传播的光纤；（c）对从光纤的端部射出的光进行聚光的照射侧聚光透镜；以及（d）使由照射侧聚光透镜聚光的光横穿包含粒子的气流的喷射机构。

又，根据本发明的形态，提供一种粒子的检测方法，其包含：（a）从光源发光的步骤；（b）利用光纤对光进行传播的步骤；（c）对从光纤的端部射出的光进行聚光的步骤；以及（d）使所述被聚光的光横穿包含粒子的气流的步骤。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种容易维护的光学式粒子检测装置以及粒子的检测方法。

附图说明

图1是本发明的实施形态所涉及的光学式粒子检测装置的示意图。

图2是本发明的实施形态所涉及的光源的俯视图。

图3是本发明的实施形态所涉及的光源的从图2所示的III-III方向观察到的截面图。

图4是示出本发明的实施形态所涉及的光源的像的摄像方法的示意图。

图5是示出本发明的实施形态所涉及的光源的亮度分布的图表。

图6是示出本发明的实施形态中从光源发出的光的图案由于光纤而变淡的模式图。

图7是示出本发明的实施形态中照射到粒子上的光的光量分布的第一图表。

图8是示出本发明的实施形态中照射到粒子上的光的光量分布的第二图表。

图9是示出本发明的实施形态中照射到粒子上的光的光量分布的第三图表。

图10是示出本发明的实施形态中照射到粒子上的光的光量分布的第四图表。

图11是本发明的其他实施形态所涉及的光学式粒子检测装置的示意图。

具体实施方式

以下对本发明的实施形态进行说明。在以下的附图的记载中，以相同或者类似的符号来表示相同或者类似的部分。但是，附图是示意性的图。因此，具体的尺寸等应该结合以下的说明来进行判断。又，附图相互之间含有相互的尺寸关系、比率不同的部分是当然的。

如图1所示，实施形态所涉及的光学式粒子检测装置具有：发光的光源1、对光进行传播的光纤2、对从光纤2的出射端部射出的光进行聚光的照射侧聚光透镜12、使由照射侧聚光透镜12聚光的光横穿包含粒子的气流的喷射机构3。在此，粒子包含微生物、无害或者有害的化学物质、灰尘、尘土以及尘埃等垃圾等。

光源1包含在光源装置20中。光源装置20还具有：使从光源1发出的光聚光到光纤2的入射端部的光源聚光透镜10、保持光源1以及光源聚光透镜10的框体21、和将光纤2固定于框体21的光纤连接器22。光纤连接器22具有被插入有光纤2的入射端部的套圈。光纤2的入射端部位于光源聚光透镜10的焦点。由此，从光源1发出的光入射至光纤2。