[发明专利]一种悬挂式加热系统

权利要求书

1.一种高纯度材料加热处理用腔室、尤其适用于薄膜生长的衬底加热系统的构造方案，具有加热温度高、加热均匀、成膜均匀质量高的特点，其特征在于：采用将样品悬挂放置的方法，可最大程度的释放由于高温膨胀引发的形变，有利于生长出高质量的薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于：至少包含加热部件、隔热部件、以及悬挂夹持部件。

3.根据权利要求2所述的加热部件又进一步包含：被加热样品、加热板、以及发热热阻；被加热样品、加热板、发热热阻三者紧密贴合；加热部件至少还包含三组导线、以及多组温度控制器件。

4.根据权利要求2所述的隔热部件又进一步包括：至少三层桶状隔热板，其中内两层采用耐高温材料钼，最外层可采用不锈钢材料以最大程度降低成本。

5.根据权利要求2所述的悬挂夹持器件又进一步包括：至少三组弹簧装置对加热样品进行支撑；一组悬挂支撑架将加热部件悬挂放置；一组固定装置用于支撑整个加热腔体，并将其固定于法兰板之上。

6.根据权利要求3所述的被加热样品，即即薄膜生长的衬底，其特征在于：任何可用于薄膜生长的衬底，此类衬底包含：铜(Cu)、铝(Al)、镍(Ni)、钴(Co)、铁(Fe)、铂(Pt)、金(Au)、铬(Cr)、镁(Mg)、锰(Mn)、钼(Mo)、钌(Rh)、钽(Ta)、钛(Ti)、铑（Rh）、钨(W)、硅（Si）、碳化硅（SiC）中的一种或任意两种以上的组合。

7.根据权利要求3所述的发热热阻，其特征在于：不采用常规的加热丝，而采用钨片或钼片，以最大程度的提高加热均匀性。