[发明专利]水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置有效
| 申请号： | 201310177066.3 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103213172A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王波;李娜;姚英学;李国;金会良;辛强;金江;李铎 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B26F3/06 | 分类号： | B26F3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水电 极大 等离子体 加工 口径 球面 光学 零件 装置 | ||
1.水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，其特征在于它由成形电极（1）、升降装置（2）、射频电源（3）、混合等离子体气源（5）、水泵（6）组成；
成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作架（2-1）上，使成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；将待加工光学零件（4）装卡在夹具（2-2）上，在待加工零件（4）的下方设置有直线排列的一排喷头（2-3），所有喷头（2-3）都设置在多自由度运动工作台（2-4）上，所有喷头（2-3）的进水口都连接水泵（6）的出水口，使待加工光学零件（4）的下端面与所有喷头（2-3）的喷嘴口之间有一定的间隙，间隙的距离为1mm-50mm；根据去除函数半高宽的要求，所有喷头（2-3）的喷嘴口的直径可在0.5mm-50mm范围内调节；所有喷头（2-3）喷出的水都喷射到待加工光学零件（4）的下端面上，所有喷头（2-3）喷出的水都通过喷头（2-3）接地作为大气等离子体放电的阴极；成形电极（1）靠近待加工光学零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为2mm-5mm；放电间隙附近设置有出气管（5-1），出气管（5-1）的进气端口与混合等离子体气源（5）的出气端口导气连通。
2.根据权利要求1所述的水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，其特征在于所述成形电极（1）的材质为铝。
3.根据权利要求1所述的水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，其特征在于所述混合等离子体气源（5）中的大气等离子体激发气体可以为氦气、氩气等惰性气体；反应气体可以为六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等；辅助气体可以为氧气。
4.根据权利要求1所述的水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置，其特征在于所有喷头（2-3）喷出的水的电导率为125μs/cm-1250 μs/cm，水的压力为0.1MPa-0.5Mpa。
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