[发明专利]物理量传感器以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器以及电子设备。

背景技术

近年来，开发了一种例如使用硅MEMS（Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统）技术而对物理量进行检测的物理量传感器。

物理量传感器例如具有被固定在基板上的固定电极、和隔着间隙而与固定电极对置配置的可动电极，并且根据固定电极与可动电极之间的静电电容，而对加速度等物理量进行检测。

例如在专利文献1中，公开一种包括可动体的加速度传感器，所述可动体通过两个支承部（固定部）而被支承，并且具有框部件以及可动电极。

但是，在专利文献1所记载的加速度传感器中，可动体的两端通过两个固定部而被支承。因此，例如在施加了热量时，有时会在可动体上产生由于被两个固定部支承而引起的应力。由此，例如，有时会在可动体上产生扭转，从而使加速度传感器的灵敏度降低。

专利文献1：日本特开2007-139505号公报

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制在可动体上产生应力的情况的物理量传感器。此外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述的物理量传感器的电子设备。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而实施的发明，其能够以以下的方式或应用例的形式而实现。

应用例1

本应用例所涉及的物理量传感器具备：基板；固定部及固定电极部，其被固定在所述基板上；可动体，其具备支承部、可动电极部以及弹簧部，并且能够沿着与所述第一轴交叉的第二轴进行位移，其中，所述支承部在俯视观察时被设置在所述固定部的周围，所述可动电极部被支承在所述支承部上并以沿着第一轴而延伸，且以与所述固定电极部对置的方式而配置，所述弹簧部对所述固定部和所述支承部进行连结，所述支承部具备沿着所述第一轴而延伸的第一梁部、和沿着所述第二轴而延伸的第二梁部。

根据这种物理量传感器，与可动体的两端通过两个固定部而被支承的方式相比，能够抑制例如在施加了热量的情况、或使用模制树脂来进行安装的情况下，在可动体上产生由于被固定部支承而引起的应力的情况。其结果为，在这种物理量传感器中，能够抑制例如在可动体上产生扭转的情况，从而能够具有较高的灵敏度。

应用例2

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，所述固定部以在俯视观察时与结构体的重心重叠的方式而设置，所述结构体被构成为，包括所述固定部以及所述可动体。

根据这种物理量传感器，可动体能够更稳定地被支承。

应用例3

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，所述第一梁部具备所述可动电极部的功能，在所述基板上，以与所述第一梁部对置的方式而设置有所述固定电极部。

根据这种物理量传感器，能够具有较高的灵敏度。

应用例4

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，以与所述弹簧部相邻的方式而设置有所述可动电极部。

根据这种物理量传感器，能够通过可动电极部，来抑制由于固定电极部而在弹簧部上作用有不必要的静电力的情况。由此，可动体能够稳定地进行动作。

应用例5

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，所述第二梁部沿着所述第二轴而设置有一对，所述可动电极部从各个所述第二梁部起沿着所述第一轴而延伸。

根据这种物理量传感器，能够抑制在可动体上产生应力的情况。

应用例6

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，所述第二梁部沿着所述第二轴而设置有一对，所述可动电极部的两端部与所述第二梁部分别连接。

根据这种物理量传感器，能够具有较高的刚性。

应用例7

在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即，相对于一个所述固定部，对置有至少两个所述可动电极部。

根据这种物理量传感器，能够实现小型化。

应用例8

本应用例所涉及的电子设备包括上述任一应用例所涉及的物理量传感器。

根据这种电子设备，能够具有如下的物理量传感器，即，能够抑制在可动体上产生应力的情况的理量传感器。

附图说明

图1为模式地表示本实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图2为模式地表示本实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。