[发明专利]外力检测传感器以及外力检测装置

权利要求书

1.一种外力检测传感器，对作用于压电片的外力进行检测，所述外力检测传感器的特征在于包括：

压电片，一端侧被支撑于形成在结晶面的底座；

一方的激振电极，设在所述压电片的一面侧；

另一方的激振电极，设在所述压电片的另一面侧；

振荡电路，电性连接于一方的激振电极；

可变电容形成用的可动电极，设置在所述压电片的离开所述一端侧的部位，且电性连接于所述另一方的激振电极；以及

固定电极，以与所述压电片隔离、并与所述可动电极相向的方式而设置，并且连接于所述振荡电路，通过压电片的弯曲来改变与所述可动电极之间的电容，由此来形成可变电容，

形成从所述振荡电路经过一方的激振电极、另一方的激振电极、可动电极及固定电极而返回振荡电路的振荡回路，

作为包含所述压电片、激振电极、可动电极及固定电极的组，而设置第1组以及第2组，

第1组是通过在所述结晶体的第1结晶面设置第1压电片而构成第1传感器部，

所述第2组是通过在第2结晶面设置第2压电片而构成第2传感器部，所述第2结晶面并不与结晶体的第1结晶面相向，且相对于第1结晶面而相对位置已被掌握。

2.根据权利要求1所述的外力检测传感器，其特征在于，

所述结晶体为水晶。

3.根据权利要求1或2所述的外力检测传感器，其特征在于，

所述第1结晶面以及第2结晶面为水晶的R面。

4.根据权利要求1或2所述的外力检测传感器，其特征在于，

所述压电片为水晶。

5.根据权利要求3所述的外力检测传感器，其特征在于，

所述压电片为水晶。

6.一种外力检测装置，对作用于压电片的外力进行检测，所述外力检测装置的特征在于包括：

权利要求1至5中任一所述的外力检测传感器；以及

频率信息检测部，用于分别检测信号，所述信号是与所述第1振荡电路以及第2振荡电路的振荡频率对应的频率信息，

由所述频率信息检测部所检测出的频率信息是：用于对作用于压电片的力进行评价的信息。

7.根据权利要求6所述的外力检测装置，其特征在于包括：

运算部，基于由所述频率信息检测部所检测出的、与所述第1振荡电路以及第2振荡电路的振荡频率对应的各频率信息及第1结晶面与第2结晶面的相对角度，来运算作用于压电片的力的方向及大小。