[发明专利]能减少挥发物在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口上粘附的装置有效
| 申请号: | 201310082189.9 | 申请日: | 2013-03-14 |
| 公开(公告)号: | CN103173858A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
| 发明(设计)人: | 谭伯杨;翟剑庞;黄镜蓁;潘丽青;刘凯歌 | 申请(专利权)人: | 中山兆龙光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人: | 邹常友 |
| 地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 减少 挥发物 蓝宝石 单晶炉 反射 视窗 粘附 装置 | ||
1.一种能减少挥发物在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口上粘附的装置,其特征在于:包括有设置在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口(1)内能防止挥发物粘附在视窗口(1)处且能拆卸清洗的钼质槽体(2),在所述钼质槽体(2)上设有耐高温自洁不粘覆涂料层(3)。
2.根据权利要求1所述的能减少挥发物在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口上粘附的装置,其特征在于所述钼质槽体(2)的形状与视窗口(1)的形状相同。
3.根据权利要求1所述的能减少挥发物在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口上粘附的装置,其特征在于耐高温自洁不粘覆涂料层(3)为ZS-522耐高温自洁不粘覆涂料层。
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