[发明专利]告警监控方法和装置有效
| 申请号: | 201310066956.7 | 申请日: | 2013-03-01 |
| 公开(公告)号: | CN104020724B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
| 发明(设计)人: | 康盛;马瑾怡;王晓倩;暨欣媛;简维廷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 吴贵明,江舟 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 告警 监控 方法 装置 | ||
1.一种告警监控方法,其特征在于,包括:
采集生产过程中用于告警监控的样本数据;
确定所述样本数据的分布类型;
获取与所述分布类型对应的告警监控策略;
使用所述告警监控策略对所述生产过程进行告警监控。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述获取与所述分布类型对应的告警监控策略包括:确定与所述分布类型对应的控制图的控制界;
所述使用确定出的所述告警监控策略对所述生产过程进行告警监控包括:使用确定出所述控制图的所述控制界对所述生产过程进行告警监控。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述确定所述样本数据的分布类型包括:
判断所述样本数据的数值水平是否大于第一阈值;
若所述数值水平小于等于所述第一阈值,则判断出所述分布类型为单一常数型或多水平离散型;
若所述数值水平大于所述第一阈值,则判断所述样本数据是否呈正态分布;若所述样本数据呈正态分布,则判断出所述分布类型为正态分布型,若所述样本数据不呈正态分布,则判断出所述分布类型为连续非正态分布型,或者,周期性趋势向上/向下型,或者,定期维护PM后总体漂移型。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,
所述判断出所述分布类型为单一常数型或多水平离散型包括:若所述数值水平等于1,则判断出所述分布类型为单一常数型;否则,判断出所述分布类型为多水平离散型;
所述控制界包括用于告警监控的上控制界和下控制界,所述确定与所述分布类型对应的控制图的控制界包括:当所述分布类型为所述单一常数型时,将所述上控制界和所述下控制界均设置为预定的第一常数;当所述分布类型为所述多水平离散型时,将所述上控制界设置为所述样本数据中的最大值,并将所述下控制界设置为所述样本数据中的最小值。
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,判断出所述分布类型为连续非正态分布型,或者,周期性趋势向上/向下型,或者,PM后总体漂移型包括:
判断所述样本数据的分布是否满足PM变化条件;
若所述样本数据的分布不满足所述PM变化条件,则判断出所述分布类型为连续非正态分布型;
若所述样本数据的分布满足所述PM变化条件,则判断出所述分布类型为周期性趋势向上/向下型,或者,PM后总体漂移型。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述确定与所述分布类型对应的控制图的控制界包括:
当判断出所述分布类型为连续非正态分布型、且所述控制图为非正态数据双边控制图时,所述控制界包括用于告警监控的上控制界和下控制界,将所述上控制界设置为第(100-p/2)百分位数,并将所述下控制界设置为第(p/2)百分位数,其中,p%为预定的报警率;
当判断出所述分布类型为连续非正态分布型、且所述控制图为非正态数据单边控制图时,所述控制界包括用于告警监控的上控制界,将所述上控制界设置为第(100-p)百分位数,或,所述控制界包括用于告警监控的下控制界,将所述下控制界设置为第(p)百分位数。
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