[发明专利]传感器元件、传感器器件以及电子设备

权利要求书

1.一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：

基部；

从所述基部延伸的检测用振动臂；以及

第1检测部和第2检测部，它们设置在所述检测用振动臂上，伴随于所述检测用振动臂的振动而输出电荷，

所述第1检测部具有第1下部电极层、第1上部电极层、以及设置在所述第1下部电极层与所述第1上部电极层之间的第1压电体层，所述第1下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，

所述第2检测部具有第2下部电极层、第2上部电极层、以及设置在所述第2下部电极层与所述第2上部电极层之间的第2压电体层，所述第2下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，

所述第1下部电极层与所述第2下部电极层电连接，或者，所述第1上部电极层与所述第2上部电极层电连接。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，

所述第1下部电极层与所述第2下部电极层通过所述检测用振动臂而彼此电连接。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，所述传感器元件具有：

从所述基部延伸的驱动用振动臂；以及

驱动部，其设置在所述驱动用振动臂上，使所述驱动用振动臂弯曲振动。

4.一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：

基部；

从所述基部延伸的第1振动臂和第2振动臂；

第1检测部，其设置在所述第1振动臂上，伴随于所述第1振动臂的振动而输出电荷；以及

第2检测部，其设置在所述第2振动臂上，伴随于所述第2振动臂的振动而输出电荷，

所述第1检测部具有第1下部电极层、第1上部电极层、以及设置在所述第1下部电极层与所述第1上部电极层之间的第1压电体层，所述第1下部电极层设置在所述第1振动臂侧，

所述第2检测部具有第2下部电极层、第2上部电极层、以及设置在所述第2下部电极层与所述第2上部电极层之间的第2压电体层，所述第1下部电极层设置在所述第1振动臂侧，

所述第1下部电极层与所述第2下部电极层电连接，或者，所述第1上部电极层与所述第2上部电极层电连接。

5.根据权利要求4所述的传感器元件，其中，

所述第1下部电极层与所述第2下部电极层通过所述基部而彼此电连接。

6.根据权利要求4或5所述的传感器元件，所述传感器元件具有：

第1驱动部，其设置在所述第1振动臂上，使所述第1振动臂弯曲振动；以及

第2驱动部，其设置在所述第2振动臂上，使所述第2振动臂弯曲振动。

7.根据权利要求1或4所述的传感器元件，所述传感器元件具有：

第1检测用端子，其设置在所述基部，与所述第1上部电极层电连接；以及

第2检测用端子，其设置在所述基部，与所述第2上部电极层电连接。

8.一种传感器器件，其特征在于，该传感器器件具有权利要求1或4所述的传感器元件。

9.根据权利要求8所述的传感器器件，其中，

所述传感器器件具有检测来自所述第1检测部和所述第2检测部的电荷的检测电路，

所述第1下部电极层与所述第2下部电极层彼此电连接，

所述第1上部电极层和所述第2上部电极层与所述检测电路电连接。

10.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1或4所述的传感器元件。