[发明专利]一种图像检测自动定位晶圆位置的方法

权利要求书

1.一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的晶圆固定于全自动晶圆划片机的数控系统划片运动平台，所述的晶圆的晶格形状规则，采用Hough变换检测晶圆图像上芯片引脚的特征直线边缘或圆特征来确定晶圆的位置，该方法包括以下步骤： 

1）调整数控系统划片运动平台，使晶圆处于显微摄相机的拍摄区域，移动圆检，通过Hough变换测得到晶圆的圆心，并以此圆心作中心点或者在晶圆上标示出中心点，确定中心点在图像坐标系中的位置p(u₀, v₀)；

2）使用显微摄相机摄取晶圆信息，进行图像处理，经边缘检测并去除噪声和干扰点，得晶圆图像的边缘信息，在边缘检测的基础上，用Hough变换进行特征直线检测，所述的特征直线是晶圆上刻蚀的切割线，由特征直线的斜率k_i和中心点到特征直线的距离d_i，检测离中心点最近的特征直线，得所需的在同一特征直线上的芯片引脚的特征线段；

如所检测到的特征线段为一条，则以特征线段与u轴形成的夹角旋转晶圆；如检测到的特征线段为多条，则以多条特征线段的中点与图像坐标系的原点连线，与u轴形成的夹角旋转晶圆；

旋转之后再次运用Hough变换检测特征直线，判断特征直线的夹角是否为零度，当检测出的特征直线夹角为0°，即此时图像中的特征线段与图像坐标系u轴平行，记录特征线段的坐标及中点坐标；

3）以p点坐标和旋转后所检测的特征线段的中点坐标在图像坐标系内划分晶圆的切割单元，并把相关位置信息转换为晶圆划片机坐标系下的位置信息，保存供数控系统加工调用。

2.根据权利要求1所述的所述的一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的晶圆的晶格形状规则为具有正方形晶格的晶圆，所述的晶格的边长、划片街区的宽度，以及每个芯片的形状规则。

3.根据权利要求1所述的所述的一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：步骤2）中边缘检测为candy边缘检测。

4.根据权利要求1所述的所述的一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的步骤2）中Hough变换进行特征直线检测中所检测的特征线段的夹角为0-20°。

5.根据权利要求1所述的所述的一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的步骤2）中图像处理为将图像灰度化、图像增强和图像二值化。

6.根据权利要求1所述的所述的一种图像检测自动定位晶圆位置的方法，其特征在于：所述的步骤3）中在图像坐标系内划分晶圆的切割单元具体操作为：在Hough变换进行特征直线检测确定芯片引脚的特征线段的具体位置，根据特征线段将晶圆进行特征直线方向上的划片；将晶圆旋转90°，再次进行检测划片，两个方向划片完成后，晶圆的划片过程结束。