[发明专利]形状测定装置

权利要求书

1.一种形状测定装置，其特征在于，使用白光干涉来测定工件形状，该形状测定装置具有：

载物台，其载置工件；

干涉光学系统，其向所述工件照射白光而产生白光干涉条纹；

驱动部，其使所述载物台以及所述干涉光学系统中的任一方的位置沿光轴方向移动；

长度测定器，其测定利用所述驱动部使所述位置移动并变化的所述载物台与所述干涉光学系统之间的相对距离；

拍摄部，其为了获得根据所述相对距离而变化的所述白光干涉条纹的对比度信息，拍摄所述白光干涉条纹。

2.根据权利要求1所记载的形状测定装置，其特征在于，

该形状测定装置还具有存储部，该存储部将由所述长度测定器测定所述相对距离而获得的距离信息、以及由所述拍摄部拍摄所述白光干涉条纹而获得的图像信息对应地存储。

3.根据权利要求1或2所记载的形状测定装置，其特征在于，

该形状测定装置还具有第一控制部，该第一控制部根据由所述长度测定器测定所述相对距离而获得的距离信息，向所述拍摄部发送触发信号，

在发送了所述触发信号时，利用所述拍摄部拍摄所述白光干涉条纹。

4.根据权利要求3所记载的形状测定装置，其特征在于，

每当利用所述长度测定器测定到的所述相对距离变化一定量时，所述第一控制部向所述拍摄部发送所述触发信号。

5.根据权利要求1或2所记载的形状测定装置，其特征在于，

还具有第二控制部，该第二控制部同时向所述长度测定器以及所述拍摄部分别发送长度测定用触发信号以及拍摄用触发信号，

在发送了所述长度测定用触发信号时，利用所述长度测定器测定所述相对距离，

在发送了所述拍摄用触发信号时，利用所述拍摄部拍摄所述白光干涉条纹。

6.根据权利要求1～5中任一项所记载的形状测定装置，其特征在于，

所述长度测定器设置在所述干涉光学系统以及所述载物台中的任一方。

7.根据权利要求1～5中任一项所记载的形状测定装置，其特征在于，

所述长度测定器是射出第一激光以及第二激光的激光长度测定器，

所述载物台具有用于反射所述第一激光的第一反射镜，

所述干涉光学系统具有用于反射所述第二激光的第二反射镜，

通过计算出使用所述第一激光测定到的从所述激光长度测定器到所述载物台的距离与使用所述第二激光测定到的从所述激光长度测定器到所述干涉光学系统的距离之差，从而测定出所述载物台与所述干涉光学系统之间的所述相对距离。

8.根据权利要求7所记载的形状测定装置，其特征在于，

所述干涉光学系统具有干涉物镜，

所述干涉物镜具有：

物镜，其使所述白光聚光于所述工件；

分光器，其将通过所述物镜后的所述白光分离成测定光以及参照光，并且合成测定光以及参照光的反射光；

参照反射镜，其反射所述参照光，

所述第二反射镜是所述参照反射镜，

所述激光长度测定器使用被所述参照反射镜反射的所述第二激光，测定所述激光长度测定器与所述干涉光学系统之间的相对距离。

9.根据权利要求1～8中任一项所记载的形状测定装置，其特征在于，

所述干涉光学系统具有干涉物镜，

所述驱动部使所述干涉物镜沿光轴方向移动，

所述长度测定器测定所述载物台与所述干涉物镜之间的相对距离。

10.根据权利要求1～9中任一项所记载的形状测定装置，其特征在于，

该形状测定装置还具有计算部，该计算部基于由所述长度测定器测定所述相对距离而获得的距离信息与由所述拍摄部拍摄所述白光干涉条纹而获得的图像信息，计算出工件表面的高度数据。