[发明专利]板材的搬运系统

说明书

技术领域

本发明涉及搬运板材的板材的搬运系统。

背景技术

作为板材的搬运系统，提出了形成为将板材的两侧表面用夹持构件夹持，并通过该夹持构件的移动搬运板材那样的结构（例如参照专利文献1至专利文献3）。然而，例如，在TFT（薄膜晶体管）的液晶显示器中所使用的板状玻璃（板材）的加工线等中，要求能够在不接触一方侧的表面的情况下搬运板状玻璃的搬运系统。原因是，液晶显示器用的板状玻璃在一方侧的表面形成有半导体等的薄膜层，因此在该表面上甚至连细微的损伤也不能允许（以下，将像这样实施了精密的加工的表面称为“精密表面”）。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本特开平6-126583号公报；

专利文献2：日本特开昭53-71396号公报；

专利文献3：日本特开昭55-129753号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

因此，申请人研究了形成为使搬运的板材中相当于精密表面的背侧的表面（以下称为“普通表面”）与搬运用的输送带接触，另一方面，在精密表面上施加流体压力的结构的搬运系统。根据该结构，尽管机械类不接触板状玻璃的精密表面，但是仍然可以稳定地搬运板状玻璃。

在该搬运系统中，在进行板材的加工的各区域之间或者相同的区域内上述输送带被分割，在该边界部分上通过被分割的前后的输送带进行板材的传递。在这样的系统中，只要使每个被分割的输送带分别地改变搬运速度，即可缩短加工的周期。然而，如果进行传递的前后的输送带的搬运速度不同，则在传递时，使得板材在任意一个的输送带上滑动。假设发生了板材的滑动，则不能正确地控制板材的搬运速度，反而对于周期的缩短起到反作用。

因此，本发明的目的是提供在传递板材时，板材不会滑动的板材的搬运系统。

解决问题的手段：

根据本发明的一种形态的板材的搬运系统是具备第一送出装置和第二送出装置，并且使板材从所述第一送出装置传递至所述第二送出装置的板材的搬运系统；所述第一送出装置及所述第二送出装置分别具有：与所述板材的一侧表面接触并将所述板材向搬运方向送出的搬运部；和能够对所述板材的另一侧表面施加来自于流体的垂直方向的压力，从而对所述板材向所述搬运部加压的加压部；并且形成为如下结构：在所述板材从所述第一送出装置传递至所述第二送出装置之前，所述第一送出装置在保持由搬运部和所述加压部的流体夹持所述板材的同时进行搬运，并且避免使所述第二送出装置的搬运部与所述板材接触；在所述板材从所述第一送出装置传递至所述第二送出装置之后，所述第二送出装置在保持由搬运部和所述加压部的流体夹持所述板材的同时进行搬运，并且避免使所述第一送出装置的搬运部与所述板材接触。

根据上述结构，在板材从第一送出装置传递至第二送出装置之前，第二送出装置的搬运部不与板材接触，在板材从第一送出装置传递至第二送出装置之后，第一送出装置的搬运部不与板材接触。因此，在板材的传递的前后，不存在板材由第一送出装置和第二送出装置的两者同时搬运的那样的情况。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以形成为如下结构：所述第一送出装置及所述第二送出装置分别还具备从所述搬运部侧向所述板材的所述一侧表面施加垂直方向的力，并且通过使所述板材浮起而避免与所述搬运部接触的浮起部。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以是所述浮起部形成为能够对所述板材的所述一侧表面施加来自于流体的垂直方向的压力的结构。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以是所述浮起部形成为能够在与所述板材的所述一侧表面之间形成流体的膜的结构。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以是所述浮起部形成为具有与所述板材的所述一侧表面接触的支持辊、和对该支持辊向所述板材施力的施力构件，并且能够通过所述支持辊向所述板材的所述一侧表面施加垂直方向的力的结构。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以是所述第一送出装置的搬运部形成为以使所述第二送出装置侧的端部将与其相反侧的端部作为支点且不与所述板材接触的方式驱动的结构；所述第二送出装置的搬运部形成为以使所述第一送出装置侧的端部将与其相反侧的端部作为支点且不与所述板材接触的方式驱动的结构。

又，在上述板材的搬运系统中，也可以是所述第一送出装置及所述第二送出装置的搬运部形成为以使整体不与所述板材接触的方式驱动的结构。

发明效果：