[发明专利]流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，尤其涉及多个流体控制仪器集成化而形成的流体控制装置。

背景技术

半导体制造装置中使用的流体控制装置中，将多条管线并列状地设置在基座部件上的集成化不断发展，其中，所述管线是多个流体控制仪器串联状地配置且不经由管、接头地连接从而形成的。作为集成化流体控制装置，在框体内以垂直状态设置的情况居多，在专利文献1中，作为这样的流体控制装置公开了下述构造：具有多条将多个流体控制仪器安装于一条可动轨道（管线支承部件）而形成的管线，多条管线的各可动轨道相对于朝向与其正交的方向的固定轨道（基座部件）以能够滑动的方式安装。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009－204090号公报

发明内容

发明所要解决的课题

根据上述以往的流体控制装置，通过将多个流体控制仪器预先组装于可动轨道，作为框体内的作业，只要进行将可动轨道安装于固定轨道的作业即可，具有能够容易地进行管线的增设（包括变更）的优点。

然而，关于可动轨道的定位及紧固方法，由于同时进行定位及紧固，因此存在为了对可动轨道（管线支承部件）进行定位耗费时间的问题。

另外，由于仅利用紧固部件（螺栓等）同时进行管线支承部件的定位及固定，因此是对紧固部件（螺栓）施加有多个较大应力（拉伸应力、剪切应力等）的构造。

并且，由于可动轨道的端部与固定轨道重叠，因此对流体控制仪器进行支承的部分的高度成为可动轨道（管线支承部件）的高度＋固定轨道（基座部件）的高度，对其再增加流体控制仪器而得到的流体控制装置的高度变得较高，因此还存在用于对其进行收纳的空间（框体）变大的问题。

本发明的目的在于提供一种流体控制装置，通过使管线支承部件的固定容易，能够实现组装时间的缩短化。

另外，本发明的其他的目的在于提供一种流体控制装置，能够抑制对流体控制仪器进行支承的部分的高度的增加。

用于解决课题的手段

本发明的流体控制装置中，多个流体控制仪器安装于一个管线支承部件，多个管线支承部件以能够装卸的方式安装于基座部件，其特征在于，基座部件通过上横框部件以及下横框部件和与其正交的左右纵框部件而形成为方形的框状，在各横框部件上设置有用于对各管线支承部件进行定位的定位部，各管线支承部件的上下端部以通过各横框部件的定位部而被定位的状态被固定。

本说明书中，对于安装有流体控制仪器的管线支承部件，以将流体控制仪器近前地安装的状态（图9）作为主视图，正面、背面以及上下、左右以此为基准而确定。该状态是流体控制装置的典型的设置状态，但本发明的流体控制装置并不限于该设置状态，有时形成为方形的框状的基座部件以垂直（Y方向）的方式设置，另外，还存在形成为方形的框状的基座部件以水平（X方向、Z方向）的方式设置的情况。另外，在以垂直状态设置的情况下，还存在上横框部件在左右某一方、下横框部件在其另一方，各管线支承部件配置为上下平行的并列状的情况。

各管线支承部件相对于各横框部件的固定，例如，既可以通过两部件的嵌合而进行，也可以使用另外的部件（例如罩部件）而进行。

优选各管线支承部件被夹持于各横框部件和上、下罩部件之间，所述上、下罩部件以能够装卸的方式安装于基座部件。

各横框部件的定位部例如是在各横框部件的上表面形成的凹部，作为各管线支承部件，通过其上下端部嵌合于各横框部件的凹部而被定位。用于定位的结构并不限于此，也可以以凸部作为各横框部件的定位部，在各管线支承部件的上下端部设置与其嵌合的凹部。

优选在各横框部件上，在其至少两端部设置有螺纹孔，而罩部件在其两端部形成有外螺纹部件插入孔，通过外螺纹部件而以能够装卸的方式安装于横框部件。

作为各管线支承部件，例如，主体部分是截面倒U字状的钣金制。作为各横框部件，例如，是截面大致コ字状的钣金制、不锈钢等的金属制扁条。在横框部件为截面大致コ字状的情况下，优选以朝背面侧开口的方式配置，并在其上壁形成有凹部。作为纵框部件，例如，主体部分是截面倒U字状的钣金制。作为罩部件，例如，是截面大致L字状的钣金制。

作为流体控制仪器，能够使用开闭阀（进行流体通路的阻挡、开放的阀）、减压阀、压力以及流量的测定以及显示器、流量调整器（流量控制阀、质量流量控制器那样的热式质量流量控制装置、压力式流量控制装置等）等。