[发明专利]固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于使用固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)切割硅锭的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。

背景技术

自先前以来，硅的切割是通过使用有游离研磨粒的带锯或线锯而进行。通过使用有游离研磨粒的带锯或线锯而进行的切割存在如下问题：浆液附着于经切割的晶圆上，后续步骤中的清洗负担较重，又，难以自使用液分离出游离研磨粒、淤渣、切割液，回收性较差。

针对所述问题，开发出使用电镀或树脂黏合而使研磨粒固定于线上的固定线锯，其具有以下优点：清洗步骤简化或通过将切割液与淤渣分离而回收性提高。作为利用该固定线锯切割硅时所使用的切割液，提出有水或如专利文献1～3的水溶性切割液。

专利文献1：日本特开2003—82334号公报；

专利文献2：日本特开2009—57423号公报；

专利文献3：国际公开第2011／058929号。

发明内容

然而，在使用所述水溶性切割液切割硅的情形中，近年来，为了质量方面及切割速度提高而使线速度加快，其结果是，所用的水溶性切割液起泡，从而存在无法切割出质量良好的晶圆的问题。

因此，本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。

为达成以上目的，本发明的发明人等反复深入研究，结果发现：通过使用含有(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物、(b)二醇(glycol)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种、及(c)水的水溶性切割液，即便在使用固定研磨粒线锯的情形中，起泡亦较少，且切割性能较高。即，本发明是一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物；(b)二醇、聚烷二醇、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。

又，本发明是一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法，其特征在于：在通过该锭切割方法进行锭的切割后，使用离心分离机或过滤装置将固定研磨粒线锯用水溶性切割液自硅分离。

如上所述，根据本发明可提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。

具体实施方式

用于本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切割液的(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物，是使环氧乙烷、环氧丙烷及环氧丁烷中的至少1种，与即为以异戊二烯为构成单元的烃的单萜烯(碳数10)、倍半萜烯(碳数15)、二萜烯(碳数20)、二倍半萜烯(碳数25)、三萜烯(碳数30)及四萜烯(碳数40)共聚合而得者。其中，尤其优选为与环氧乙烷及环氧丙烷共聚合而得者，其比率优选为相对于上述萜烯1摩尔，环氧乙烷及环氧丙烷分别为3～30摩尔及3～20摩尔。

又，(a)的添加量优选为相对于全部切割液为0.01～5.0重量％。若(a)的添加量未达0.01重量％，则不具有消泡效果，又，不具有对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，故而不佳。又，即便超过5.0重量％，与5.0重量％以下的情形时相比，消泡效果及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果亦并不存在差别，5.0重量％以下即可获得充分的消泡效果及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，因此就降低成本的观点而言，优选为5.0重量％以下。

先前以来，作为固定研磨粒线锯用水溶性切割液的消泡剂是使用硅系消泡剂，然而硅系消泡剂存在液体稳定性较差，易变成不均匀的液体的倾向。然而，在本发明中，通过使用(a)萜烯环氧烷嵌段共聚物而即便不使用硅系消泡剂，亦可提高消泡效果、及对切割过程中产生的切割屑进行分散清洗的效果，从而提高切割性能。