[发明专利]制造石墨烯膜的方法、用于制造石墨烯膜的设备和通过使用用于制造石墨烯膜的设备制成的石墨烯膜

权利要求书

1.一种制造石墨烯膜的方法，所述方法包括：

在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯；

在石墨烯的上面没有形成催化剂金属膜的表面上形成第一膜；

去除催化剂金属膜；以及

对石墨烯执行掺杂过程，

其中，通过使用辊对辊方法在一个方向上执行形成石墨烯、形成第一膜、去除催化剂金属膜和执行掺杂过程的步骤。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：在形成石墨烯之前，预处理催化剂金属膜，

其中，通过使用辊对辊方法移动催化剂金属膜，以便形成石墨烯。

3.如权利要求1所述的方法，其中，催化剂金属膜包括从由镍、钴、铁、铂、金、铝、铬、铜、镁、锰、钕、硅、钽、钛、钨、铀、钒和锆及它们的组合组成的组中选择的至少一种。

4.如权利要求1所述的方法，其中，第一膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、塑料、合成橡胶和天然橡胶中的至少一种。

5.如权利要求4所述的方法，还包括：在第一膜和石墨烯之间形成粘合剂材料。

6.如权利要求1所述的方法，还包括：在执行去除步骤之后，去除第一膜并且在石墨烯的上面没有形成第一膜的表面上形成第二膜。

7.如权利要求6所述的方法，其中，第一膜是热剥离膜，并且

其中，第二膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、塑料、合成橡胶和天然橡胶中的至少一种。

8.如权利要求6所述的方法，其中，通过使用辊对辊方法在一个方向上执行去除第一膜和形成第二膜的步骤。

9.如权利要求1所述的方法，其中，通过使用蚀刻过程来执行去除的步骤。

10.如权利要求9所述的方法，其中，蚀刻过程是使用酸溶液、氟化氢溶液、缓冲氧化物蚀刻溶液、氯化铁溶液和硝酸铁溶液中的至少一种进行的湿蚀刻过程。

11.如权利要求10所述的方法，还包括：在进行湿蚀刻过程之前，干蚀刻催化剂金属膜。

12.如权利要求1所述的方法，还包括：在去除催化剂金属膜的步骤和执行掺杂过程的步骤之间冲洗和干燥石墨烯，

其中，通过使用辊对辊方法来执行冲洗和干燥。

13.如权利要求1所述的方法，还包括：在执行掺杂过程之后，通过使用从鼓风方法、自然干燥方法和大约50℃的温度下进行的加热方法中选择的一种干燥方法来干燥被执行掺杂处理的石墨烯，

其中，通过使用辊对辊方法来执行所选择的方法。

14.一种用于制造石墨烯膜的设备，所述设备包括：

石墨烯形成单元，用于在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯；

第一膜形成单元，用于在石墨烯的上面没有形成催化剂金属膜的表面上形成第一膜；

催化剂金属膜去除单元，用于去除催化剂金属膜；以及

石墨烯掺杂单元，用于对石墨烯执行掺杂过程，

其中，通过使用辊对辊方法连接石墨烯形成单元、第一膜形成单元、催化剂金属膜去除单元和石墨烯掺杂单元。

15.如权利要求14所述的设备，还包括：预处理器，用于在催化剂金属膜的表面上形成石墨烯之前预处理催化剂金属膜，

其中，通过使用辊对辊方法连接预处理器和石墨烯形成单元。

16.如权利要求14所述的设备，还包括：石墨烯干燥单元，用于干燥被执行掺杂过程的石墨烯，

其中，通过使用辊对辊方法连接石墨烯掺杂单元和石墨烯干燥单元。

17.一种通过权利要求14至16中的任一项所述的方法制成的石墨烯膜。