[发明专利]曝光装置

说明书

技术领域

本发明涉及将使用于便携式电话用的液晶显示面板等中的玻璃基板等进行曝光的曝光装置，特别是，涉及边使形成了多个成为单个基板的区域的基板在一方向移动，边按成为1个或多个的单个基板的区域照射曝光用光，并统一曝光的分档器方式的曝光装置。

背景技术

到目前为止，在使用于大型液晶显示面板等中的例如玻璃基板等的曝光中，使用透镜扫描（lens scanning）方式、镜面投影（mirror projection）方式以及邻近（proximity）方式等的曝光装置。进而，使形成于大型掩模上的图案的透过光，射入到多个投影光学系统（多物镜）并在基板上分割使其成像，通过一次的曝光，将基板上的多个区域进行曝光。这样的曝光方法被采用于需要3μm以上的分辨率的基板的曝光中。

但是，例如在使用于便携式电话用的液晶显示面板等中的玻璃基板等中、使用的基板小的情况下，由于需要2μm以下这样的高分辨率，所以不能采用上述那样的使用了多目镜的曝光方法。因此，使用在半导体用基板等的曝光中使用的分档器方式的曝光装置（例如，专利文献1和2）。

在分档器方式的曝光装置中，形成于掩模的各图案的透过光，在通过缩小光学系统之后，照射到基板。到目前为止，使用于便携式电话用的液晶显示面板等中的玻璃基板，例如是从1.5m见方的大型基板制造的，在曝光时，按成为1枚或多枚的单个的玻璃基板的区域多次曝光。进而，将通过多次曝光成为单个基板的区域的全部被曝光的基板，在之后的工序中进行分割来制造多枚玻璃基板。

现有技术文献 

专利文献 

 专利文献1：特开2006-235515号公报；

专利文献2：国际公开第2005／038518号。

发明内容

本发明所要解决的技术问题

但是，在上述现有技术中，存在以下的问题。即，在分档器方式的曝光装置中，图案的透过光透过缩小光学系统并照射到基板。因此，在曝光用光的1次照射（1发射）中能曝光的范围例如变窄到130至150mm方形左右为止。因此，存在为了将1.5m见方的基板的变为单个基板的多个区域的整个面进行曝光，需要将上述窄范围的曝光例如反复进行30次以上，曝光行程长期化的问题。

本发明是鉴于所涉及的问题点而做出的发明，其目的在于，提供一种在将形成了变为多枚单个基板的区域的基板进行曝光时，能以短曝光行程进行高精度且高分辨率的曝光的曝光装置。

用于解决技术问题的技术方案

本发明所涉及的曝光装置其特征在于，具有：脉冲地发出激光的光源；形成了应曝光的图案的掩模；使正立等倍像在基板上成像的多个微透镜在行方向的第一方向排列并且在列方向的第二方向以规定的行间距设置多行的微透镜阵列；将来自所述光源的激光通过所述掩模导入所述微透镜阵列的光学系统；使所述基板在所述第二方向移动的驱动装置；将所述微透镜阵列与所述掩模的相对位置关系仅以所述微透镜的所述行间距在所述第二方向依次切换的切换装置；以及将基于所述驱动装置的所述基板的移动、基于所述切换装置的所述微透镜阵列与所述掩模的相对位置关系的切换、以及所述激光的照射定时进行控制的控制装置。

在上述的曝光装置中，例如所述微透镜阵列是以1次所述激光的照射，将对应于微透镜的数量的多个矩形的区域进行曝光的微透镜阵列，在棋盘格状的位置，在第一方向相互间设置间隔并在第一方向以规定的列间距配置所述矩形的区域，在所述第一方向，隔开1个或多个位置，以规定的列间距将第一行的所述区域的配置位置进行配置，在与所述第一行的区域的所述间隔的位置对应的位置，在所述第一方向，设置所述列间距配置相对所述第一行在第二方向邻接的第二行的所述区域，进一步，在有共用于所述第一行和所述第二行的间隔的位置的情况下在与该位置对应的位置、在没有所述共用的间隔的位置的情况学下在与所述第一行的所述区域对应的位置，在所述第一方向，设置所述列间距并配置相对所述第二行在第二方向邻接的第三行的所述区域，以下同样地相对各行，直到没有共用于前段的全部的行的区域之间的间隔为止使所述第一方向的配置位置错开来配置后段的行的区域，在没有共用于全部的行的区域之间的间隔时，就第一方向而言在与第一行相同的配置位置配置所述区域并再一次依次配置多行的所述区域。