[实用新型]反应腔室

权利要求书

1.一种反应腔室，其特征在于，包括：腔体；设置于所述腔体内的托盘；设置于所述腔体内的旋转结构，所述旋转结构通过筒状侧壁与所述托盘连接，所述旋转结构、托盘及筒状侧壁形成了一容置空间；设置于所述容置空间内用于加热所述托盘的加热器；及设置于所述容置空间内的隔热结构，所述隔热结构设置于所述加热器和旋转结构之间。

2.如权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述隔热结构为一隔热板，在所述加热器和旋转结构中，所述隔热板更靠近所述加热器。

3.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述隔热板与所述筒状侧壁之间具有一间隙，所述间隙的宽度为0.1mm～10mm。

4.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述筒状侧壁上设置有排气孔，且所述排气孔位于所述隔热板和加热器之间区域的所述筒状侧壁，所述排气孔的直径为0.1mm~1mm。

5.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述隔热板面向所述加热器的表面为一反射面，所述反射面反射所述加热器发出的热辐射。

6.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述隔热板包括本体和嵌于本体的冷却管路或冷却腔，所述冷却管路或冷却腔中通有冷却液体或气体。

7.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，构成所述隔热板的材料为耐热材料。

8.如权利要求7中的任一项所述的反应腔室，其特征在于，所述隔热板的厚度为1mm~5mm。

9.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在于，还包括一支撑柱，所述支撑柱穿过所述旋转结构连接所述加热器和所述隔热板，所述支撑柱支撑所述加热器和所述隔热板。

10.如权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，所述支撑柱上设置有冷却液体或冷却气体传输管道，所述冷却液体或冷却气体传输管道与所述隔热板的冷却管道或冷却腔相连。