[实用新型]一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置

说明书

所属技术领域

本实用新型属于一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，具体涉及镀膜后腔壁清洁，以维持真空环境下镀膜品质。 

背景技术

现有溅镀设备的镀膜腔室为防止溅镀源同时溅镀到腔壁上皆采取安装防镀遮板来达到目的，且皆以螺丝固定方式锁固在腔壁上，此举虽可固定牢靠，但对于后续维护防镀遮板造成相当的不便利，若锁固螺丝数量多，会花费相当多的时间在于螺丝的拆卸上。 

实用新型内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本实用新型的主要目的在于提供一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置。 

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是： 

一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，包括两个遮板本体、密接边及下端折边所构成，其中一个遮板本体设有阶梯状的密接边且高于另一个遮板边缘3mm的高度，使两个遮板可接合无间隙，同时遮板本体下端设有折边，使遮板本体可放至于腔壁上无需任何螺丝固定，同时为增加遮板本体强度，在其内部设有补强片，增加横向强度。

    本实用新型进一步改进在于：所述之防镀遮板以拼接方式密合，无需螺丝锁固。 

     本实用新型与现有技术相比的优点：无需螺丝锁固，维修保养方便，节省保养时间。 

附图说明

图1系为本实用新型结构示意图。 

图2系为本实用新型侧面结构示意图。 

主要组件符号说明 

11．．．遮板本体

12．．．密接边

13．．．下端折边

14．．．遮板本体

21．．． 补强板

具体实施方式

    下面结合附图对本实用新型做进一步说明。 

请参阅图1所示，一种溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体11及14、密接边12、下端折边13组成，遮板本体11、14，一个遮板本体11设有阶梯状的密接边12且高于另一个遮板边缘3mm的高度，可将两个遮板本体接合且无任何间隙，同时设有下端遮板13，可将遮板本体11、14放置在腔壁上，如此可防止溅镀源溅镀在腔壁上。请参阅图2所示，遮板内部设有补强板21可加强横向强度，使遮板不至于变形，整体防镀遮板无需螺丝锁固，维修保养方便，节省保养时间。 

    以上所述实例是对本实用新型技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本实用新型技术方案的思路和范围，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。