[实用新型]离子注入机有效
| 申请号： | 201220594742.8 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN203055853U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 崔保群;曹耀辉;李志军;路瑞亮 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 066001 河北省秦*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入机，包括离子源系统(1)、真空系统(4)、引出系统(2)和设置有靶片(19)的靶室(18)，所述真空系统(4)为所述的离子源系统(1)、所述的引出系统(2)及靶室(18)提供真空条件，其特征在于：
所述的离子源系统(1)包括放电室(12)和天线(11)，由RF电源驱动，天线(11)设置在所述放电室(12)顶部外，所述的放电室由石英制成；
所述引出系统(2)包括引出缝(13)和引出电极，离子源产生的离子束经由所述的引出缝(13)引出后，由引出电极引入所述的靶室(18)，所述的引出系统中离子束经过的通道，由硅材料制成或镶嵌硅材料制成的部件；
所述靶片(9)能在所述靶室(18)内在垂直于所述的引出缝(13)的长度方向上移动，所述天线(11)沿着所述引出缝(13)的长度方向设置。
2.如权利要求1所述的离子注入机，其特征在于，由所述的引出电极引出的所述离子束，经由真空室进入到所述的靶室(18)内，所述的引出缝设置在所述的放电室的底部，所述的引出电极设置在所述的真空室的顶部内，并与所述的引出缝相连通。
3.如权利要求2所述的离子注入机，其特征在于，在所述的真空室与所述的靶室(18)间设置有阀门。
4.如权利要求2所述的离子注入机，其特征在于，所述的引出电极由抑制电极和地电极组成。
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