[实用新型]一种对电子元件改性与电学性质表征的设备

权利要求书

1.一种对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，主要由真空腔室、紫外光源系统、真空泵系统和真空设备控制系统以及电子元件测试系统组成，其中，所述紫外光源系统包括控制电源和紫外灯管，所述真空腔室包括外腔室和内腔室，所述外腔室内安装所述紫外灯管，所述内腔室内设置样品台以及加热和水冷装置，并具有气体输入、输出端口，所述紫外灯管发射的光通过内腔室的石英窗口，照射到样品台上，所述内腔室具有一定压强的氧气，其经过紫外光照射后生成臭氧和氧原子，对样品台上的样品表面进行清洗和改性；所述真空泵系统和真空设备控制系统用于产生并控制真空腔室内的真空度，所述电子元件测试系统能够对电子元件的电学性质进行原位测试表征。

2.根据权利要求1所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述紫外灯管发射主要为184.9nm和253.7nm的紫外光。

3.根据权利要求2所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述内腔室上部主要由石英材料制成，下部主要为不锈钢材料制成，内腔室顶部具有在波长184.9nm和253.7nm处高透过率的石英窗口，所述石英窗口的尺寸不小于内腔室的内部孔径，以有效避免内腔室氧气在紫外光照射下光化学反应暗区的产生，所述气体输入、输出端口设置在内腔室下部不锈钢部分。

4.根据权利要求1所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述样品台的高度通过控制杆在一定范围内可调节，以实现和有效控制紫外光/臭氧表面处理。

5.根据权利要求1所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述真空泵由两级泵，即机械泵和分子泵组成。

6.根据权利要求1所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述真空设备控制系统主要包括：气体流量计、真空计、温度控制系统和水冷系统。

7.根据权利要求1所述的对电子元件改性与电学性质表征的设备，其特征在于，所述电子元件测试系统主要包括：锁相放大器、电压源和电流计，能够对电子元件的电学性质进行原位表征。