[实用新型]一种能测高低温的高速转盘式芯片分选机有效
| 申请号： | 201220547841.0 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN202909962U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 李烨;王刚 | 申请（专利权）人： | 镇江艾科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212009 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测高 低温 高速 转盘 芯片 分选 | ||
【权利要求书】：
1.一种能测高低温的高速转盘式芯片分选机，包括给料器（1）、器件排队区（2）、测试区一（5）、测试区二（6）、测试区三（7）和测试区四（8），其特征在于：在给料器（1）和器件排列区（2）加装热风装置，该热风装置使用双路压缩空气温度控制器中的一路，在测试区一（5），测试区二（6），测试区三（7）加装双路压缩空气温度控制器中的另一路，测试区四（8）通过气化液氮管道（110）连接气化后的液氮。
2.如权利要求1所述的能测高低温的高速转盘式芯片分选机，其特征在于：设有温度传感器(102)控制给料器(1)、器件排列区(2)和测试区一(5)、测试区二(6)、测试区三(7)的温度。
3.如权利要求1或2所述的能测高低温的高速转盘式芯片分选机，其特征在于：设有温度控制器(103)来控制气化液氮管道(110)的开关来对被测芯片(114)在测试区(4)的环境温度。
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