[实用新型]吸附装置

权利要求书

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：

载放台，所述载放台的上表面划分有一个或多个吸附区域；每个所述吸附区域凹设有吸附槽，每个所述吸附槽的槽底设置有一个或多个真空孔；

抽真空单元，所述抽真空单元与所述每个真空孔相连通。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，每个所述吸附区域包括p个相互平行的吸附槽；其中，p是大于1的自然数。

3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附槽包括横向吸附槽和纵向吸附槽；每个所述吸附区域包括m个相互平行的横向吸附槽和n个相互平行的纵向吸附槽，横向吸附槽和纵向吸附槽相交叉且交叉处相连通，交叉处为m×n个；其中，m和n是大于1的自然数。

4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述横向吸附槽之间等间距分布，所述纵向吸附槽之间等间距分布，且最边缘的交叉处位于所述横向吸附槽和所述纵向吸附槽的端部。

5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，每个所述真空孔设置在交叉处的槽底。

6.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述多个真空孔均匀分布。

7.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述多个真空孔围合形成的图形是中心对称图形且是轴对称图形。

8.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，每个所述交叉处的槽底设置有一个真空孔。

9.根据权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，所述载放台的上表面划分有1个吸附区域，所述吸附区域包括6个相互平行的横向吸附槽和6个相互平行的纵向吸附槽；

所述第1个，第3个，第4个和第6个横向吸附槽与第1个，第3个，第4个和第6个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔；

所述第2个和第5个横向吸附槽与所述第2个和第5个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔。

10.根据权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，所述载放台的上表面划分有四个吸附区域，所述四个吸附区域按阵列两行×两列分布；每个所述吸附区域包括3个相互平行的横向吸附槽和3个相互平行的纵向吸附槽；

第一行第一列和第二行第二列的吸附区域的所述第1个横向吸附槽与第1个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔，所述第2个横向吸附槽与第2个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔，所述第3个横向吸附槽与第3个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔；

第一行第二列和第二行第一列的吸附区域的所述第1个横向吸附槽与第3个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔，所述第2个横向吸附槽与第2个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔，所述第3个横向吸附槽与第1个纵向吸附槽的交叉处的槽底设置有真空孔。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的吸附装置，其特征在于，还包括真空监测单元，所述真空监测单元与吸附区域一一对应，每个真空监测单元和与之对应的吸附区域的吸附槽相连接。