[实用新型]一种链式真空炉

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种链式真空炉。

背景技术

玻封二极管组装过程中的高温焊接目前采用传统的链式炉或真空炉，链式炉焊接芯片在两电极间（玻璃管内）无法固定，电性稳定性较差；真空炉虽可以满足电性要求，跟传统链条炉相比存在能源浪费多，产能低的缺陷。

发明内容

本实用新型目的是：为了解决上述问题，提供一种链式真空炉。

本实用新型的技术方案是：一种链式真空炉，包括沿水平方向顺次布置的预装料炉室、烧结加热炉室、预冷炉室和冷却炉室，每相邻两炉室之间均通过法兰连接在一起，每相邻两炉室之间均设置有隔热门闸板阀，当所述隔热门闸板阀开启时，相邻两炉室之间连通；当所述隔热门闸板阀闭合时，相邻两炉室之间密封隔开；且每个炉室都设置有独立的抽真空系统，其中：

所述预装料炉室上设有进料炉门，预装料炉室内部设有可将预装料炉室内的工件自动输送至所述烧结加热炉室内的送料机构Ⅰ；

所述烧结加热炉室设置有对工件进行烧结加热的加热系统；

所述预冷炉室和冷却炉室均设置有冷却降温系统，预冷炉室的内部设有可将所述烧结加热炉室内的工件取至该预冷炉室内的取料机构Ⅰ；冷却炉室上设有出料炉门，冷却炉室内部设有可将预冷炉室内的工件取至该冷却炉室内的取料机构Ⅱ。

每个炉室都设置有独立的真空检测系统。

所述送料机构Ⅰ由水平运行的送料轨道、以及用于驱动该送料轨道运动的减速电机构成。

所述预装料炉室外部设置有进料架，进料架上设有可将工件输送到预装料炉室内的送料机构Ⅱ，该送料机构Ⅱ由水平运行的送料轨道、以及用于驱动该送料轨道运动的减速电机构成，且进料架上的送料轨道与所述预装料炉室内送料轨道对接。

所述取料机构Ⅰ和取料机构Ⅱ均由水平运行的取料轨道、以及用于驱动该取料轨道运动的减速电机构成。

所述冷却炉室外部设置有出料架，出料架上设有可将冷却取料炉室内的工件取至该出料架上的取料机构Ⅲ，该取料机构Ⅲ由水平运行的取料轨道、以及用于驱动该送料轨道运动的减速电机构成，且取料机构Ⅲ的取料轨道与冷却炉室内的取料轨道对接。

所述加热系统包括设置在烧结加热炉室的炉体内的方形加热腔室、以及沿所述加热腔室内壁均分布置的加热钼带，所述加热腔室外设有保温隔热屏，该保温隔热屏由多层厚度大于0.5mm的耐高温不锈钢片通过螺栓连接而成，所述加热钼带通过高温陶瓷和金属钼螺栓固定在烧结加热炉室的内炉壁上。

所述预冷炉室的内炉壁上设置有保温隔热层。

所述冷却降温系统由高压风机、高效换热器和导流板构成。

本实用新型的优点是：本实用新型的链式真空炉在保证高温焊接产品品质的前期下，改善能源浪费，同时提升产能。

附图说明

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

图1为本实用新型链式真空炉的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

其中：1预装料炉室，2烧结加热炉室，3预冷炉室，4冷却炉室，5法兰，6进料架，7出料架，8隔热门闸板阀，10工件；

1-1进料炉门，1-2送料机构Ⅰ；

2-1保温隔热屏，2-2加热腔室，2-3加热钼带；

3-1取料机构Ⅰ，3-2保温隔热层；

4-1取料炉门，4-2取料机构Ⅱ；

6-1送料机构Ⅱ；

7-1取料机构Ⅲ。

具体实施方式

如图1和图2所示，本实施例的链式真空炉，包括沿水平方向顺次布置的预装料炉室1、烧结加热炉室2、预冷炉室3和冷却炉室4，每相邻两炉室之间均通过法兰5连接在一起，可随时拆装。而且每相邻两炉室之间均设置有隔热门闸板阀8，当所述隔热门闸板阀8开启时，相邻两炉室之间连通；当所述隔热门闸板阀8闭合时，相邻两炉室之间密封隔开。隔热门闸板阀的开启由气缸驱动完成。 

而且，每个炉室都设置有独立的抽真空系统和独立的真空检测系统，其中：抽真空系统可对各炉室进行独立的抽真空处理——用高纯惰性气体（如氮气）置换出炉室内的空气后抽真空，以实现炉室内的高真空低氧环境，可使炉室内的气体压力达到0.67Pa；真空检测系统用于检测各炉室的真空度，当相邻两炉室的炉内压力保持基本平衡时，中间的隔热门闸板阀8才能开启。

上述各个炉室的炉体均为圆筒形卧式结构，各炉室的炉壁全部设计成双层水冷结构，内层为不锈钢，外层采用优质碳钢制造。