[实用新型]基板清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板清洗装置，属于显示技术领域。

背景技术

在液晶面板制造和半导体领域的生产工艺中，清洗工序是必然要用到的工艺之一。白玻璃（Bare Glass）从包装箱中开封后，要经过最初始的清洗，称作初步清洗（Initial Clean），以保证其在基板制造过程中的表面洁净度。

如图1所示，TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器）阵列玻璃基板制造过程中，玻璃初步清洗时，玻璃在基板清洗装置的输送机构作用下，沿一定输送方向，自玻璃入口A进入清洗箱100，在清洗箱100内进行玻璃清洗工艺后，再从玻璃出口N出来。其中，清洗箱100包括沿玻璃输送方向依次设置的第一缓冲区间B、第二缓冲区间C、第一喷淋区间D、第一清洗剂区间E、第二清洗剂区间F、第二喷淋区间G、第三喷淋区间H、第四喷淋区间I、第五喷淋区间J、第六喷淋区间K、气刀区间L和第三缓冲区间M等。其中，在各清洗剂区间内，玻璃是利用设置于清洗箱100内的转动的清洗刷来刷洗玻璃表面以达到清洗目的。

如图2所示，基板清洗装置的清洗箱100内的清洗刷200，是在传动轴400、马达500等驱动下转动，其中，传动轴400一端与清洗箱100内部的清洗刷200连接，另一端穿过清洗箱100的挡板101上的过孔102，通过螺栓、丝扣等与位于清洗箱100外部的马达500进行连接。传动轴400与马达500的连接部位位于清洗箱100外部的干燥区间Z，要求干燥区间Z的环境越干燥越好。

但是，由于TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶体管）行业中所涉及到的绝大多数清洗过程（包括湿法刻蚀、湿法剥离）都需要倾斜输送（倾斜约15°角）玻璃。TFT-LCD阵列玻璃基板制造过程中，玻璃在初步清洗时，也需要倾斜输送，清洗刷200的传动轴400也是倾斜一定角度设置。这样，在玻璃输送过程中，会有大量液体沿着玻璃的倾斜方向流下。由于现有的基板清洗装置中在传动轴400与清洗箱100的挡板101上的过孔102之间的空隙没有设置密封组件，液体会沿着清洗刷200的传动轴400，从挡板101上的过孔102流出至清洗箱100外部的干燥区间；同时，在对玻璃300表面喷淋液体时，也会有部分液体贱到挡板101的过孔102与传动轴400的间隙处；这样，就会造成传动轴400、马达500等金属部件长时间在湿度很大的环境中工作，严重的话会影响马达500的稳定性，对马达500造成损害。

实用新型内容

为了解决上述现有技术中基板制造过程中，会有液体从基板清洗装置的清洗箱渗透出来，而导致传动轴与驱动马达连接部位在湿度很大的环境中运行的问题，本实用新型提供了一种基板清洗装置，能够防止液体从清洗箱渗漏至清洗箱外部的干燥区间。

本实用新型所提供的技术方案为：

一种基板清洗装置，包括：

用于为基板表面清洗工艺提供作业空间的清洗箱，所述清洗箱包括用于将所述作业空间与外部隔开的挡板，所述挡板上设有过孔；

用于在基板表面接触并旋转，以清洗基板表面的清洗刷，设置于所述清洗箱的内部；

用于带动所述清洗刷旋转的传动轴，一端通过所述过孔伸出所述挡板外，另一端与所述清洗箱内部的所述清洗刷连接；

以及，用于阻止所述清洗箱内部的液体从所述挡板上的过孔流出的阻止机构，设于所述挡板的过孔处。

进一步的，所述阻止机构包括一用于阻止液体顺着所述传动轴向所述过孔处流动的内套，所述内套套设于所述传动轴上并位于所述清洗刷与所述挡板之间。

进一步的，所述内套包括一套设于所述传动轴上的环状的垫片，所述垫片的外径大于所述挡板上的过孔的内径。

进一步的，所述阻止机构还包括一套设于所述传动轴上的环状的轴套，与环状的垫片固连为一体，其中，所述垫片位于靠近所述过孔的一端。

进一步的，所述阻止机构还包括遮挡密封盖，用于遮挡所述传动轴与所述挡板之间的空隙以阻止液体由所述空隙流出。

进一步的，所述遮挡密封盖为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的开口面积大于所述第二端的通孔面积，所述第一端和所述第二端之间为容腔；

其中，

并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板固定地或可拆卸地连接，所述第二端的通孔的内缘直径大于所述传动轴外径，且所述第二端的通孔内穿装所述传动轴；

或者，