[实用新型]基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，包括：

用于为基板表面清洗提供作业空间的清洗箱，所述清洗箱包括用于将所述作业空间与外部隔开的挡板，所述挡板上设有过孔；

位于所述清洗箱内部、与基板表面接触并旋转以清洗基板表面的清洗刷；

用于带动所述清洗刷旋转的传动轴，所述传动轴的一端通过所述过孔伸出所述挡板外，另一端与所述清洗刷连接；

其特征在于，所述基板清洗装置还包括：

用于阻止所述清洗箱内部的液体从所述挡板上的过孔流出的阻止机构，设于所述挡板的过孔处。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：所述阻止机构包括用于阻止液体顺着所述传动轴向所述过孔处流动的内套，所述内套套设于所述传动轴上并位于所述清洗刷与所述挡板之间。

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于：所述内套包括套设于所述传动轴上的环状的垫片，所述垫片的外径大于所述挡板上的过孔的内径。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于：所述内套还包括套设于所述传动轴上的环状的轴套，与环状的所述垫片固连为一体，其中所述垫片位于靠近所述过孔的一端。

5.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：所述阻止机构包括遮挡密封盖，用于遮挡所述传动轴与所述挡板之间的空隙以阻止液体由所述空隙流出。

6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于：所述遮挡密封盖为盖形结构，具有呈开口状的第一端和中心具有通孔的第二端，所述第一端的开口面积大于所述第二端的通孔面积，所述第一端和所述第二端之间为容腔；

其中，

所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述挡板，且所述第一端的开口的边沿围绕所述挡板的过孔的周围，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板固定地或可拆卸地连接，所述第二端的通孔的内缘直径大于所述传动轴外径，且所述第二端的通孔内穿装所述传动轴；

或者，

所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述挡板，且所述第一端的开口的边沿围绕所述挡板的过孔的周围，并且所述第一端的开口的边沿与所述挡板相离，所述第二端的通孔的内缘与所述传动轴固定地或可拆卸地连接；

或者，

所述遮挡密封盖的第一端的开口朝向所述清洗刷，所述遮挡密封盖的第二端的通孔内穿装所述传动轴，且所述第二端的通孔内缘与所述挡板或与所述传动轴固定地或可拆卸地连接。

7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于：所述遮挡密封盖的容腔壁上设有至少一个引流口，所述引流口的水平位置低于所述挡板的过孔。

8.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述阻止机构包括风扇装置，所述风扇装置用于在所述挡板的过孔处产生吹向所述清洗箱内部的气流，以阻止液体从所述挡板的过孔流出。

9.根据权利要求8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述风扇装置设置在所述过孔处，且固定在所述挡板上或者固定在所述传动轴上。

10.根据权利要求8或9所述的基板清洗装置，其特征在于，所述风扇装置包括：能够在所述传动轴带动下旋转的多个风扇叶轮，所述多个风扇叶轮沿所述传动轴周向分布于所述传动轴上。

11.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述基板清洗装置还包括用于带动所述传动轴旋转的马达，所述马达与所述传动轴伸出所述过孔外的一端连接。