[实用新型]一种密闭腔体中的样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械传动领域，尤其涉及一种高真空或超高真空的密闭腔体中的样品台。

背景技术

现代分析仪器越来越多的需要用到高真空或超高真空的工作环境，在高真空或超高真空的密闭腔体中，样品台承载样品进行定位后，在真空环境中对试样进行加工或分析等操作。

典型的，具有真空环境的仪器如二次离子探针质谱仪，其对样品的微区分析的要求是在超高真空环境中进行的，高精密的样品台承载样品在真空腔体中在三维空间中移动，将待分析的样品的位置进行精确的定位，同时，还在二次离子引出的方向上移动，以精确聚焦一次离子束轰击样品表面的束斑斑点，以对样品进行轰击并对溅射出来的二次离子进行分析，为了保证分析结果的精确性，在整个过程中，对真空环境的纯净度有很高的要求。

由于有的质谱仪器的真空腔体中的样品台为真空步进电机驱动的样品台，该样品台的机械运动部分及电机驱动部分都置于真空腔体中，通过电真空插头将电源线和控制线连接到驱动电机。然而，步进电机对润滑油的要求较高，并且润滑油会对真空环境造成一定的污染，而且也引入了其他的电气材料，在电机工作时由于电气材料放气及电机发热会造成真空度的波动而影响分析结果，而随着质谱仪器的不断发展，对真空度的要求也越来越高，对现有的样品台提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型旨在解决上述问题之一，提供了一种密闭腔体中的样品台，保证更纯净的真空环境。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供了如下技术方案：

一种样品台，置于密闭腔体中，包括：

运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一导轨与第二导轨之间有间隔；

第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；

第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；

样品头，所述样品头的一端置于运动模块内，沿第三方向与运动模块相配合；

十字连接模块，具有第一随动模块、与第一随动模块相配合的沿第一方向设置的第一随动导轨以及第二随动模块、与第二随动模块相配合的沿第二方向设置的第二随动导轨，第一随动导轨与第二随动导轨固定连接，所述样品头的另一端与第一随动模块、第二随动模块二者中的一个沿第三方向固定连接，第一随动模块、第二随动模块二者中的另一个与沿第三方向设置的第三传动杆的一端固定连接；

其中，第一方向、第二方向与第三方向相互正交，所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆、第二传动杆以及第三传动杆的另一端置于密闭腔体外，并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。

可选地，还包括：限位模块，所述限位模块具有限定第一导向模块沿第二方向的运动轨迹的第一端，以及具有限定第二导向模块沿第一方向的运动轨迹的第二端。

可选地，所述第一端上具有沿第二方向设置的第五导轨以及沿第一方向设置的第六导轨，所述第一导向模块具有沿第二方向设置的第七导轨，所述第二导向模块具有沿第一方向设置的第八导轨，所述第五导轨与第七导轨相配合，所述第六导轨与第八导轨相配合，所述导轨为交叉滚柱导轨。

可选地，所述第一传动杆以及第二传动杆与驱动机构通过波纹管连接。

可选地，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机通过滚柱丝杠与波纹管连接。

可选地，所述波纹管为小波纹管。

可选地，所述样品头沿第三方向与运动模块轴承配合。

本实用新型提供的样品台，在整个真空腔内，为纯机械配合的设计，可以采用非润滑油的方式进行润滑，避免了电动装置对润滑油的高要求，提高了密闭腔体中的真空度，此外，通过传动杆将动力传入腔体内，而驱动装置不必置于腔体中，避免了电气原件在密闭腔体中的使用，更进一步提高了密闭腔体内的真空度。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例的样品台的爆炸图；

图2为图1中的运动模块的结构示意图；

图3为图1中的运动模块与一导向模块配合后的结构示意图；

图4为图1中的运动模块与第一和第二导向模块配合后的结构示意图；

图5为图1的导向模块与限位模块的组装图；