[实用新型]一种测量力恒定可控的接触式扫描测头

权利要求书

1.一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，它包括测头(2)、设置在测头(2)上的探针(1)、夹头柄(3)、数据线缆(4)和气管接头(5)，所述夹头柄(3)和探针(1)分别设置测头(2)的顶部和底部，所述数据线缆(4)和气管接头(5)设置在测头(2)的外侧，其特征在于，在所述测头(2)的内部底端设置有空气导轨(9)和设置在空气导轨上的空心管(11)，所述空心管(11)两端通过上连接件(81)、下连接件(82)分别固定有镭射尺(14)和探针(1)，在所述上连接件(81)上设置有标准重量块(12)，所述镭射尺(14)上设置有激光位移传感器(15)。

2.根据权利要求1所述的一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，其特征在于，在所述测头(2)的内部底端通过固定板(6)固定有底板(17)，所述空气导轨(9)通过空气导轨安装板(10)安装在底板(17)上。

3.根据权利要求1或2所述的一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，其特征在于，在所述测头(2)的内部定端设置有上固定板(16)，所述激光位移传感器(15)通过上固定板固定在测头(2)的内部，所述上连接件(81)上通过连接螺钉(13)固定所述的标准重量块(12)。

4.根据权利要求1所述的一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，其特征在于，所述的探针(1)的下部设置有精密弹簧(7)。

5.根据权利要求3所述的一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，其特征在于，所述的连接螺钉(13)平行于镭射尺(14)设置，且标准重量块(12)旋接在连接螺钉(13)上。

6.根据权利要求3所述的一种测量力恒定可控的接触式扫描测头，其特征在于，所述的连接螺钉(13)垂直于镭射尺(14)设置，且标准重量块(12)旋接在连接螺钉(13)上。