[实用新型]一种超声引线键合仪劈刀压力在线检测装置

权利要求书

1.一种超声引线键合仪劈刀压力在线检测装置，其特征在于，包括滑片、第一导电膜、第二导电膜、信号提取线和数据计算器，其中：

所述第一导电膜的第一端与第一基准电压输入线相连，所述第一导电膜的第二端与第二基准电压输入线相连；

所述滑片与超声换能器相连接，在劈刀下压时，由超声换能器带动在所述第一导电膜和所述第二导电膜上水平滑动；

所述信号提取线与所述第二导电膜的第一端相连接，获取所述滑片水平滑动时所述滑片上的电压变化信号，并将所述电压变化信号进行传输；

所述数据计算器与所述信号提取线相连接，接收所述信号提取线传输的电压变化信号，解析所述电压变化信号，获取与所述电压变化信号相对应的劈刀压力。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括滑片固定卡槽，其中：

所述滑片通过滑片固定卡槽固定于与所述超声换能器相连的滑片固定板上。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述滑片通过滑片紧固件固定于滑片固定卡槽上。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述滑片固定卡槽通过滑片固定卡槽紧固件固定于所述滑片固定板上。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括载板和装置固定板，其中：

所述第一导电膜和所述第二导电膜固定于所述载板上，所述载板通过所述装置固定板固定于与超声换能器相连的底板连接件上。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述载板通过载板紧固件固定于所述装置固定板上，所述装置固定板通过装置固定板紧固件固定于所述底板连接件上。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一导电膜的第一端通过第一导电膜引出端子与所述第一基准电压输入线相连，所述第一导电膜的第二端通过第二导电膜引出端子与所述第二基准电压输入线相连。

8.根据权利要求1或7所述的装置，其特征在于，所述第二导电膜的第一端通过第三导电膜引出端子与所述信号提取线相连。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一基准电压输入线接地；

所述第二基准电压输入线与+2.5V电压输入相连。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数据计算器包括微控制单元MCU。