[实用新型]一种闸门及湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；其特征在于：

其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；

所述驱动装置包括：传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。

2.根据权利要求1所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。

3.根据权利要求2所述的闸门，其特征在于，所述传动轴枢装于其中一个盖板，且所述传动轴轴心线的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。

4.根据权利要求3所述的闸门，其特征在于，所述与传动轴枢装的盖板上具有贯穿其厚度方向的传动轴观察槽，所述传动轴观察槽的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。

5.根据权利要求1所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的两个侧面之间的宽度由所述滑槽开口向所述滑槽的槽底方向逐渐增大，所述滑轨的两个侧面之间的宽度由所述滑轨的顶面向所述芯板的第一侧面方向逐渐减小；且所述滑槽的两个侧面与所述滑轨的两个侧面滑动配合。

6.根据权利要求5所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的两个侧面沿直线设置有多个滚珠，且所述直线的延伸方向与所述滑槽的延伸方向一致；所述滑轨的两个侧面设置有与所述滚珠配合的限位槽。

7.根据权利要求6所述的闸门，其特征在于，所述滑轨可拆卸地安装于所述芯板的第一侧面；所述齿条可拆卸地安装于所述芯板的第二侧面。

8.根据权利要求7所述的闸门，其特征在于，每一个盖板上安装有检测基板位置信息的摆动传感器，所述摆动传感器安装在门缝中。

9.根据权利要求8所述的闸门，其特征在于，每一个盖板的门缝中具有摆动传感器的安装槽，传感器安装在所述安装槽中。

10.一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的闸门。