[实用新型]薄膜晶体管、阵列基板及显示装置有效

专利信息
申请号: 201220364647.9 申请日: 2012-07-25
公开(公告)号: CN202712193U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 张学辉;刘翔;薛建设 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/45;H01L29/49
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 韩国胜
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 阵列 显示装置
【权利要求书】:

1.薄膜晶体管,包括形成在基板上的栅极、栅绝缘层、有源层、电极金属层和钝化层;电极金属层包括源电极和漏电极,源电极和漏电极互相隔离,之间为沟道区域;其特征在于,所述有源层和电极金属层之间形成有第二透明导电层。

2.如权利要求1中所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述栅极和基板之间形成有第一透明导电层。

3.如权利要求2中所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述栅极与电极金属层的材料为铜;所述第一透明导电层与栅极之间和/或第二透明导电层与电极金属层之间分别形成有一层金属层,所述金属层的材料为钼、铝、钕、钛或者其合金中的一种。

4.如权利要求1中所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述有源层为非晶硅或氧化物半导体材料。

5.如权利要求2中所述的薄膜晶体管,其特征在于,所述第一透明导电层和/或第二透明导电层为锌氧化物,铟锡氧化物、铟锌氧化物、聚乙撑二氧噻吩或石墨烯材料。

6.一种阵列基板,其特征在于,包括如权利要求1-5中任一项所述的薄膜晶体管。

7.如权利要求6所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板上设置有像素电极和公共电极,所述像素电极和所述公共电极设置在所述阵列基板的不同层,所述像素电极和所述公共电极之间设置有绝缘层,所述像素电极的形状为狭缝状。

8.如权利要求7所述的阵列基板,其特征在于,所述公共电极和第一透明导电层采用相同的材料,且两者在同一次光刻工艺中形成;所述像素电极和第二透明导电层采用相同的材料,且两者在同一次光刻工艺中形成。

9.一种显示装置,其特征在于,包括上述权利要求6-8中任一项所述的阵列基板。

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